离子束处理电介质表面的方法及实施该方法的装置

摘要

本发明所提出的方法利用了等离子阴极放电及隧道式磁场生成电子流，而且隧道式磁场的一部分磁通量同时穿过阴极的表面和待处理的电介质表面，且阴极由石墨和/或硼制造。在此工作气体的组分包括10-100％的氧气。实施本发明所提出的上述方法的装置将阴极由石墨和/或硼制造的阴极放电装置用作电子源，且磁系统安装在阴极表面之下用于在阴极表面上产生隧道式磁通量。此外，相对于电介质表面和离子源的输出孔安放阴极放电装置，以这种方式在待处理的表面上离子流作用的区域和磁通量与该表面交汇的区域形成相互重叠的区域。