公开/公告号CN104584180A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-04-29
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社日立高新技术;
申请/专利号CN201380043744.5
申请日2013-07-11
分类号H01J37/18;H01J37/16;H01J37/28;
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人张敬强
地址 日本东京都
入库时间 2023-12-18 08:30:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-15
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J37/18 申请公布日:20150429 申请日:20130711
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-05-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/18 申请日:20130711
实质审查的生效
2015-04-29
公开
公开
机译: 带电粒子束系统和冷却装置,包括冷却部件和用于这种带电粒子束系统中的冷却部件的线圈
机译: 多个带电粒子束的冲裁装置,多个带电粒子束的拉拔装置以及多个带电粒子束的缺陷线截取方法
机译: 用于使用带电粒子给显影剂承载部件充电的带电装置,包括带电旋转部件和压区形成部件,其偏压极性与显影剂极性相同