电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置

摘要

本发明涉及一种电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，由腔体和腔体盖形成一个真空腔体，在腔体和腔体盖之间设置密封胶垫，在腔体外表面缠绕金属丝网或金属薄片的感应电极，在感应电极外面包上一层透明的绝缘膜，将感应电极用导线连接到电火花式真空检漏器的放电头上；在真空腔体有一个抽气口，抽气口与三通阀门的一个接口连接，三通阀门的另一个接口与真空机械泵连接，三通阀门的第三个接口连接到大气、氧气或其他气体。本发明的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置用火花式真空检漏器来替代一般使用的高频电源和匹配器降低成本达数十倍，简化了结构，缩小了体积，降低了能耗，操作简便可靠。