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具有纳米结构和纳米金属光学腔和天线的发光二极管,快光子-电子源和光电探测器,以及其制造方法

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摘要

一种非常薄且高效率的光电器件，这种光电器件利用了具有亚波长孔阵的表面等离子体激元模腔，并且实现了多种实际应用，包括发光二极管(LED)，新光电子源，和新的光电探测器。它们都包含了一个光子谐振腔，这个腔有顶部透光的金属层，底部金属层和一个夹在这两层中间的半导体层。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-11-06

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L33/36 申请公布日:20141224 申请日:20121105

发明专利申请公布后的视为撤回
2015-01-14

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L33/36 申请日:20121105

实质审查的生效
2014-12-24

公开

公开

1. 具有纳米结构和纳米金属光学腔和天线的发光二极管,快光子-电子源和光电探测器,以及其制造方法 [P] . 中国专利： CN104247054A . 2014-12-24
2. 一种GaAs纳米光学共振结构光电阴极电子源及其制备方法 [P] . 中国专利： CN108766857A . 2018-11-06
3. LIGHT EMITTING DIODES, FAST PHOTO-ELECTRON SOURCE AND PHOTODETECTORS WITH SCALED NANOSTRUCTURES AND NANOSCALE METALLIC PHOTONIC CAVITY AND ANTENNA, AND METHOD OF MAKING THE SAME [P] . 美国专利： US2019378674A1 . 2019-12-12

机译：具有纳米结构，纳米尺度的金属光子腔和天线的发光二极管，快速光电子源和光电检测器及其制造方法
4. LIGHT EMITTING DIODES, FAST PHOTO-ELECTRON SOURCE AND PHOTODETECTORS WITH SCALED NANOSTRUCTURES AND NANOSCALE METALLIC PHOTONIC CAVITY AND ANTENNA, AND METHOD OF MAKING SAME [P] . 美国专利： US2016133424A1 . 2016-05-12

机译：具有纳米结构，纳米尺度的金属光子腔和天线的发光二极管，快速光电源和光电检测器及其制造方法
5. LIGHT EMITTING DIODES, FAST PHOTO-ELECTRON SOURCE AND PHOTODETECTORS WITH SCALED NANOSTRUCTURES AND NANOSCALE METALLIC PHOTONIC CAVITY AND ANTENNA, AND METHOD OF MAKING SAME [P] . 世界知识产权组织专利： WO2013067541A1 . 2013-05-10

机译：具有纳米结构，纳米尺度的金属光子腔和天线的发光二极管，快速光电源和光电检测器及其制造方法