公开/公告号CN104246021A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-12-24
原文格式PDF
申请/专利权人 瓦里安半导体设备公司;
申请/专利号CN201280072386.6
申请日2012-12-12
分类号C30B11/00;C30B29/06;C30B15/00;C30B15/06;C30B15/14;
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司;
代理人臧建明
地址 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号
入库时间 2023-12-18 08:15:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-01-18
授权
授权
2015-01-14
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B11/00 申请日:20121212
实质审查的生效
2014-12-24
公开
公开
机译: 在硅熔体表面上实现持续各向异性晶体生长的装置
机译: 用于在浮法玻璃的制造过程中引入玻璃熔体的装置具有喷口,该喷口在与玻璃熔体接触的表面上涂覆有非贵重的难熔金属层。
机译: 在硅熔体表面实现持续的各向异性晶体生长的装置