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用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱、测量系统和方法

摘要

本发明提供了一种用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱、干涉仪热漂移系数的测量系统和干涉仪热漂移系数的测量方法,所述用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱,包括:箱体、加热装置、用于承载干涉仪的微晶玻璃和测量反射镜,所述箱体上设置有视窗,所述加热装置、微晶玻璃和测量反射镜置于所述箱体内,所述微晶玻璃靠近所述视窗,所述干涉仪置于所述微晶玻璃的靠近所述视窗的一端,所述测量反射镜置于所述微晶玻璃上并且与所述干涉仪出光面贴合。达到了精确、方便地得到干涉仪热漂移系数η的目的。

著录项

  • 公开/公告号CN102679865A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-09-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海微电子装备有限公司;

    申请/专利号CN201110053279.6

  • 申请日2011-03-07

  • 分类号

  • 代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人屈蘅

  • 地址 201203 上海市浦东新区张东路1525号

  • 入库时间 2023-12-18 07:55:56

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-08-26

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B9/02 申请公布日:20120919 申请日:20110307

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2012-11-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B9/02 申请日:20110307

    实质审查的生效

  • 2012-09-19

    公开

    公开

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