用于X射线光电子能谱测量的非导电样品的制备方法

摘要

一种用于X射线光电子能谱测量的非导电样品的制备方法，是在非导电样品测试区周围增加导电链接，所述的导电链接为涂导电膜、镀导电膜或紧贴导电掩膜。本发明方法简单，利用本发明制备的非导电样品结合中和枪使用，可有效快速的消除X射线光电子能谱测量中表面荷电效应，实现数据的准确测量，降低分析难度。