单腔双电极放电腔及准分子激光器

摘要

本发明属于激光器技术领域，具体涉及一种单腔双电极放电腔及采用该放电腔的准分子激光器，其包括腔体和两套主放电电极，所述腔体包括左右两室，以形成对称的双室结构腔形，每个室的截面形状均为上小下大的“梨”形，所述左右两室在整个放电腔的对称面处交界并连通，所述两套主放电电极分别位于左右两室的上侧。本发明通过一个单腔结构实现MOPA、MOPO、MOPRA结构的双腔功能，既降低了系统的复杂性，又保证了放电腔的放电同步性。