公开/公告号CN102765787A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-11-07
原文格式PDF
申请/专利权人 广州埔玛电气有限公司;
申请/专利号CN201210243931.5
申请日2012-07-13
分类号C02F1/50;
代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司;
代理人谭英强
地址 510663 广东省广州市科学城揽月路80号广州科技创新基地G区6楼
入库时间 2023-12-18 07:11:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-09-02
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C02F1/50 申请公布日:20121107 申请日:20120713
发明专利申请公布后的驳回
2012-12-26
实质审查的生效 IPC(主分类):C02F1/50 申请日:20120713
实质审查的生效
2012-11-07
公开
公开
机译: 利用等离子体产生的自由基在薄膜形成步骤之间注入源前驱物的薄膜形成方法
机译: 用于厌氧反应器的污水脉冲混合注入装置和污水注入方法
机译: 离子注入等离子反应器中的半导体晶片的接续方法和等离子体浸没离子注入等离子反应器中的半导体晶片的接续方法