基于多层硅量子点的短波响应晶硅太阳能电池制备方法

摘要

本发明公开了基于多层硅量子点的短波响应晶硅太阳能电池制备方法，其包括如下工艺步骤：在P型晶体硅衬底上制备制绒面；进行非晶硅薄膜的沉积；利用快速热退火过程形成硅量子点；形成一层硅量子点薄膜的制备；重复上述步骤二至步骤三多次，完成多层硅量子点薄膜的制备；形成PN结并进行恒定表面浓度扩散源的推进；在P型晶体硅衬底正面淀积Si