球面干涉检测中待测球面调整误差的高精度校正方法

摘要

本发明公开了一种球面干涉检测中待测球面调整误差的高精度校正方法。首先利用干涉仪测得同时包含待测球面调整误差及其实际面形误差的原始波面数据，利用待测球面的数值孔径以及原始波面数据拟合多项式的离焦项，将离焦调整误差所引入的高阶像差从原始波面数据中分离出来，并通过消除原始波面数据拟合多项式的常数项、倾斜项、离焦项以及所分离出对应的高阶像差项，即可实现对球面干涉检测中待测球面倾斜和离焦调整误差的高精度校正，进而获得高精度的待测球面面形数据。本发明为精密球面、特别是大数值孔径球面的干涉检测中待测球面的调整误差提供了一种高精度的校正方法，在光学球面元件的精密加工、检测中具有重要应用价值。