一种钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷水基流延浆料及其陶瓷膜片的制备方法

摘要

本发明公开了一种钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷水基流延浆料，由陶瓷粉体、有机添加剂、水组成；所述陶瓷粉体为含3～12wt%烧结助剂的钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷固相粉体；所述有机添加剂中的复合粘结剂由按体积比聚乙烯吡咯烷酮∶苯丙乳液＝1～1.5∶1.5～1复合而成。此外还公开了利用上述浆料采用水基流延成型工艺制备陶瓷膜片的方法。本发明实现了钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷膜片的制备，从而解决了该体系陶瓷材料的实际应用问题，所制得的陶瓷膜片强度及叠层性能好，且具有优良的微波介电性能和较低的烧结温度，可与银、铜电极共烧。本发明制备方法简单易行，能够满足环保要求，且生产成本低，适合于大规模工业生产。

说明书

技术领域

本发明涉及功能陶瓷材料技术领域，尤其涉及钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷膜片 的制备技术。

背景技术

随着现代移动通信、GPS、无线宽带互联网技术的迅猛发展，对微波电路元器 件提出了更高的要求，制备各种微型化、复合化、高频化、片式化、模块化的新型 微波介质元器件业已成为微波介质陶瓷的发展方向。目前，LTCC（low-temperature  co-fired ceramic，低温共烧陶瓷）技术以其优异的电学、机械、热学及工艺特性已 经成为电子元器件片式化、集成化、模块化的最佳技术，主要是通过采用多层陶瓷 叠层技术，将相关的被动功能元器件经由电路设计形式埋进堆积的介质层中。LTCC 技术包括LTCC材料的特性和应用技术、封装导线连接技术、电路设计技术，其中 LTCC材料的特性及应用技术是LTCC技术的基础，其多层结构设计可有效减小器 件体积，是实现元器件向小型化、集成化、高可靠性和低成本发展的重要途径。

LTCC技术中的一道重要工艺是采用流延成型工艺（Tape-casting）制备性能优 良的陶瓷膜片。目前，现有技术流延工艺按照所用的溶剂，分为非水体系和水溶性 体系两类，在所处溶剂中将陶瓷粉体结合粘结剂、成膜助剂、分散剂等有机助剂， 通过流延、干燥而获得陶瓷膜片。从国内外近年的研究情况来看,对非水体系流延 成型工艺的研究已经比较成熟，所制备的陶瓷坯片结构均匀、强度高、柔韧性好， 便于切割和加工，在工业生产中已广泛应用。然而，非水体系流延成型工艺中有机 物含量较多，因而会导致膜片密度低、排胶过程中坯体易变形开裂等问题，不仅影 响产品质量、生产成本偏高，而且使用的是易燃、有毒的有机溶剂以及粘结剂、分 散剂等，对人体和环境会造成严重的危害，不能适应环境友好及清洁生产等发展趋 势，在当今全球日益严峻的环保形势下，非水体系的流延成型工艺已经不符合LTCC 产业的发展方向。因此，研究以成本低、绿色环保为特征的水基流延成型工艺并应 用于LTCC技术中，已成为一项紧迫的任务，并具有重要的经济效益和社会效益。

钙锶锂钐钛体系陶瓷材料具有介电常数高、品质因数高、谐振频率温度系数可 调等优良性能。但由于其烧结温度较高，因此需要添加烧结助剂以降低烧结温度、 实现低温共烧（LTCC）。以钙锶锂钐钛体系材料、采用水基流延成型工艺制备陶瓷 膜片，由于其成分复杂、且添加有烧结助剂，使用现有技术有机添加剂配方体系无 法实现陶瓷膜片的制备。例如，采用现有技术比较成熟的聚乙烯醇（PVA）作为粘 结剂，会与烧结助剂发生反应而形成凝胶，而采用其他体系的粘结剂，如乳胶体系、 羧酸类单体、丙烯酰胺单体等，以及其他有机助剂，在针对含烧结助剂的钙锶锂钐 钛系微波介质陶瓷粉体流延时，容易干燥开裂而难以成膜，无法获得满意的膜片强 度和叠层性能。目前，现有技术对于钙锶锂钐钛系陶瓷材料的研究并不多，因而还 无法获得实际应用，也尚未见到关于该体系材料通过水基流延成型工艺制备陶瓷膜 片的报道。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷 水基流延浆料，以利于实现该体系材料陶瓷膜片的制备，获得质量及性能优良的产 品。本发明的另一目的在于提供一种利用上述浆料采用水基流延成型工艺制备陶瓷 膜片的方法。

本发明的目的通过以下技术方案予以实现：

本发明提供的一种钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷水基流延浆料，由陶瓷粉体、有 机添加剂、水组成；其中，所述陶瓷粉体为45～60wt%，优选45～50wt%，所述 有机添加剂为复合粘结剂15～35wt%优选16～20wt%、增塑剂2～7wt%、分散剂 0.5～1.5wt%、成膜助剂0.5～1wt%、消泡剂0.05～0.5wt%，余量为水；所述陶瓷 粉体为含3～12wt%、优选5～9wt%烧结助剂的钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷固相粉 体；所述复合粘结剂由按体积比聚乙烯吡咯烷酮∶苯丙乳液＝1～1.5∶1.5～1复合 而成。

本发明含烧结助剂的钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷具有优良的微波介电性能和较 低的烧结温度，可与银、铜电极共烧。为获得该体系材料的陶瓷膜片，本发明以水 作为溶剂、结合有机添加剂作为水基流延浆料。其中粘结剂在膜片中起到连接并粘 结陶瓷粉体颗粒、提供膜片强度等作用。本发明采用由聚乙烯吡咯烷酮与苯丙乳液 复合而成的粘结剂，并配合其他有机助剂，克服了该陶瓷材料体系复杂的成分及烧 结助剂对水基流延的不利影响，有利于提高陶瓷膜片的综合性能。

进一步地，本发明所述钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷为具有钙钛矿结构的钛酸钙 和钛酸锶复合掺杂钛酸锂钐的微波介质陶瓷，其通式为(Ca_1-xSr_x)_1-y(Li_1/2Sm_1/2)_yTiO₃， 0＜x≤0.1，0.7≤y≤0.8。

为使陶瓷材料具有更加优良的低温共烧性能，本发明所述烧结助剂为 B₂O₃+CuO+LiCO₃复合熔块，按质量比B₂O₃∶CuO＝5～6∶1，（B₂O₃+CuO）∶LiCO₃＝5～15∶1。此外，还可掺杂有Bi₂O₃或V₂O₅，所述Bi₂O₃或V₂O₅的用量为 B₂O₃+CuO+LiCO₃的2～3wt%。

进一步地，本发明所述陶瓷粉体的粒径为1～5μm。所述增塑剂为丙三醇，所 述分散剂为三乙醇胺，所述成膜助剂为磷酸三丁酯，所述消泡剂为正丁醇。

本发明的另一目的通过以下技术方案予以实现：

本发明提供的一种钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷膜片的制备方法，采用上述钙锶 锂钐钛系微波介质陶瓷水基流延浆料，包括以下步骤：

(1)将陶瓷粉体加入到含分散剂的去离子水中，球磨10～12个小时后，加入复 合粘结剂、增塑剂，继续球磨8～12小时；然后加入成膜助剂和消泡剂搅拌3小时， 得到流延浆料；

(2)将所述流延浆料真空除泡后在流延机上进行流延成型；

(3)将所述流延成型的膜片在25～60℃温度下干燥2～4小时，然后从基带上剥 离，即得到陶瓷膜片。

本发明具有以下有益效果：

(1)本发明含烧结助剂的钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷具有优良的微波介电性能 和较低的烧结温度，可与银、铜电极共烧。

(2)采用复合粘结剂克服了烧结助剂中的硼元素及铋元素或钒元素对水基流延 的不利影响，有利于钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷膜片的生产。

(3)本发明水基流延浆料所获得的流延膜片具有优良的综合性能，避免了干燥 开裂，膜片强度高、叠层性能好，可适用于实际的生产和应用中。

(4)采用水基流延工艺，制备方法简单易行，能够满足环保要求，且生产成本 低，适合于大规模工业生产。

下面将结合实施例对本发明作进一步的详细描述。

具体实施方式

本发明实施例钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷水基流延浆料，由陶瓷粉体、有机添 加剂、水组成。陶瓷粉体为含烧结助剂的钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷，其粒径为1～ 5μm，其中钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷为(Ca_1-xSr_x)_1-y(Li_1/2Sm_1/2)_yTiO₃，0＜x≤0.1， 0.7≤y≤0.8；烧结助剂为B₂O₃+CuO+LiCO₃复合熔块、B₂O₃+CuO+LiCO₃+Bi₂O₃复 合熔块或B₂O₃+CuO+LiCO₃+V₂O₅复合熔块。有机添加剂包含有复合粘结剂、增塑 剂、分散剂、成膜助剂、消泡剂。复合粘结剂由聚乙烯吡咯烷酮与苯丙乳液复合而 成，增塑剂为丙三醇或邻苯二甲酸二丁酯，分散剂为三乙醇胺，成膜助剂为磷酸三 丁酯或二乙二醇丁醚醋酸酯，消泡剂为正丁醇。

实施例一：

本实施例钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷膜片的制备方法如下：

(1)将2g分散剂三乙醇胺溶于70g去离子水中，然后加入100g含5.5wt%BCL烧 结助剂（按质量比B₂O₃∶CuO∶LiCO₃＝8.485∶1.515∶1）的 (Ca_0.9375Sr_0.0625)_0.3(Li_1/2Sm_1/2)_0.7TiO₃陶瓷粉体，球磨混合12小时后，加入按体积比聚 乙烯吡咯烷酮∶苯丙乳胶＝1∶1的复合粘结剂35g、增塑剂丙三醇5g，继续球磨10 小时；然后在浆料中加入成膜助剂磷酸三丁酯1.5g、消泡剂正丁醇0.8g，放在磁力 搅拌器上搅拌3小时，得到流延浆料；

(2)将流延浆料真空除泡后在流延机上进行流延成型；

(3)将流延成型的膜片在30℃温度下干燥1小时后，再在60℃温度下干燥1小 时，然后从基带上剥离，即得到陶瓷膜片。

本实施例制得的陶瓷膜片（厚度150μm）表面光滑且不开裂。将膜片放入烧结 炉中，以2℃/min的速率升至450℃进行排胶，保温2小时；然后以5℃/min的速率 升至900℃保温5小时可烧结。烧结后微波介质陶瓷的相对介电常数ε_r=84.7，品质 因素与频率乘积Qf=2446GHz，谐振频率温度系数τ_f=-12.48ppm/℃。

实施例二：

本实施例钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷膜片的制备方法如下：

(1)将1.5g分散剂三乙醇胺溶于55g去离子水中，然后加入95g含5.0wt%BCL 烧结助剂（按质量比B₂O₃∶CuO∶LiCO₃＝8.485∶1.515∶1）的 (Ca_0.9375Sr_0.0625)_0.3(Li_1/2Sm_1/2)_0.7TiO₃陶瓷粉体，球磨混合10小时后，加入按体积比聚 乙烯吡咯烷酮∶苯丙乳胶＝1∶1.5的复合粘结剂38g、增塑剂邻苯二甲酸二丁酯4g， 继续球磨8小时；然后在浆料中加入成膜助剂磷酸三丁酯1.8g、消泡剂正丁醇0.8g， 放在磁力搅拌器上搅拌3小时，得到流延浆料；

(2)将流延浆料真空除泡后在流延机上进行流延成型；

(3)将流延成型的膜片在30℃温度下干燥3小时，然后从基带上剥离，即得到 陶瓷膜片。

本实施例制得的陶瓷膜片（厚度200μm）表面光滑且不开裂。将膜片放入烧结 炉中，以2℃/min的速率升至500℃进行排胶，保温2小时；然后以5℃/min的速率 升至895℃保温5小时可烧结。烧结后微波介质陶瓷的相对介电常数ε_r=90.3，品质 因素与频率乘积Qf=2490GHz，谐振频率温度系数τ_f=14.74ppm/℃。

实施例三：

本实施例钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷膜片的制备方法如下：

(1)将2.5g分散剂三乙醇胺溶于60g去离子水中，然后加入98g含8.0wt%BBCL 烧结助剂（按质量比B₂O₃∶CuO∶LiCO₃∶Bi₂O₃＝8.485∶1.515∶1∶0.22）的 (Ca_0.9375Sr_0.0625)_0.2(Li_1/2Sm_1/2)_0.8TiO₃陶瓷粉体，球磨混合11小时后，加入按体积比聚 乙烯吡咯烷酮∶苯丙乳胶＝1.5∶1的复合粘结剂40g、增塑剂丙三醇4.5g，继续球 磨10小时；然后在浆料中加入成膜助剂磷酸三丁酯1.2g、消泡剂正丁醇0.8g，放在 磁力搅拌器上搅拌3小时，得到流延浆料；

(2)将流延浆料真空除泡后在流延机上进行流延成型；

(3)将流延成型的膜片在30℃温度下干燥1小时后，再在50℃温度下干燥1小 时，然后从基带上剥离，即得到陶瓷膜片。

本实施例制得的陶瓷膜片（厚度300μm）表面光滑且不开裂。将膜片放入烧结 炉中，以2℃/min的速率升至500℃进行排胶，保温2小时；然后以5℃/min的速率 升至850℃保温5小时可烧结。烧结后微波介质陶瓷的相对介电常数ε_r=77.2，品质 因素与频率乘积Of=1929GHz，谐振频率温度系数τ_f=-18.48ppm/℃。

实施例四：

本实施例钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷膜片的制备方法如下：

(1)将2g分散剂三乙醇胺溶于70g去离子水中，然后加入100g含5.5wt%BCL 烧结助剂（按质量比B₂O₃∶CuO∶LiCO₃＝12.5∶2.5∶1）的 (Ca_0.9625Sr_0.0375)_0.3(Li_1/2Sm_1/2)_0.7TiO₃TiO₃陶瓷粉体，球磨混合10小时后，加入按体积 比聚乙烯吡咯烷酮∶苯丙乳胶＝1.3∶1的复合粘结剂35g、增塑剂丙三醇5g，继续 球磨9小时；然后在浆料中加入成膜助剂二乙二醇丁醚醋酸酯2g、消泡剂正丁醇 0.8g，放在磁力搅拌器上搅拌3小时，得到流延浆料；

(2)将流延浆料真空除泡后在流延机上进行流延成型；

(3)将流延成型的膜片在30℃温度下干燥1小时后，再在60℃温度下干燥1小 时，然后从基带上剥离，即得到陶瓷膜片。

本实施例制得的陶瓷膜片（厚度250μm）表面光滑且不开裂。将膜片放入烧结 炉中，以2℃/min的速率升至450℃进行排胶，保温2小时；然后以5℃/min的速率 升至900℃保温5小时可烧结。烧结后微波介质陶瓷的相对介电常数ε_r=82.8，品质 因素与频率乘积Qf=1890GHz，谐振频率温度系数τ_f=13.48ppm/℃。

实施例五：

本实施例钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷膜片的制备方法如下：

(1)将1.5g分散剂三乙醇胺溶于55g去离子水中，然后加入95g含7.5wt%VBCL 烧结助剂（按质量比B₂O₃∶CuO∶LiCO₃∶V₂O₅＝8.375∶1.625∶1∶0.33）的 (Ca_0.9375Sr_0.0625)_0.3(Li_1/2Sm_1/2)_0.7TiO₃陶瓷粉体，球磨混合10小时后，加入按体积比聚 乙烯吡咯烷酮∶苯丙乳胶＝1∶1.5的复合粘结剂38g、增塑剂邻苯二甲酸二丁酯4g， 继续球磨8小时；然后在浆料中加入成膜助剂磷酸三丁酯1.5g、消泡剂正丁醇0.6g， 放在磁力搅拌器上搅拌3小时，得到流延浆料；

(2)将流延浆料真空除泡后在流延机上进行流延成型；

(3)将流延成型的膜片在30℃温度下干燥3小时，然后从基带上剥离，即得到 陶瓷膜片。

本实施例制得的陶瓷膜片（厚度200μm）表面光滑且不开裂。将膜片放入烧结 炉中，以2℃/min的速率升至500℃进行排胶，保温2小时；然后以5℃/min的速率 升至875℃保温4小时可烧结。烧结后微波介质陶瓷的相对介电常数εB_r=80.3，品 质因素与频率乘积Qf=1000GHz，谐振频率温度系数τ_f=12.89ppm/℃。

实施例六：

本实施例钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷膜片的制备方法如下：

(1)将2g分散剂三乙醇胺溶于75g去离子水中，然后加入100g含6.5wt%BBCL 烧结助剂（按质量比B₂O₃∶CuO∶LiCO₃∶Bi₂O₃＝4.285∶0.715∶1∶0.18）的 (Ca_0.9Sr_0.1)_0.3(Li_1/2Sm_1/2)_0.7TiO₃TiO₃陶瓷粉体，球磨混合10小时后，加入按体积比聚 乙烯吡咯烷酮∶苯丙乳胶＝1.2∶1的复合粘结剂37g、增塑剂丙三醇5g，继续球磨 9小时；然后在浆料中加入成膜助剂二乙二醇丁醚醋酸酯2g、消泡剂正丁醇0.8g， 放在磁力搅拌器上搅拌3小时，得到流延浆料；

(2)将流延浆料真空除泡后在流延机上进行流延成型；

(3)将流延成型的膜片在30℃温度下干燥1小时后，再在60℃温度下干燥1小 时，然后从基带上剥离，即得到陶瓷膜片。

本实施例制得的陶瓷膜片（厚度250μm）表面光滑且不开裂。将膜片放入烧结 炉中，以2℃/min的速率升至450℃进行排胶，保温2小时；然后以5℃/min的速率 升至860℃保温4小时可烧结。烧结后微波介质陶瓷的相对介电常数ε_r=75.2，品质 因素与频率乘积Qf=1865GHz，谐振频率温度系数τ_f=18.86ppm/℃。

实施例七：

本实施例钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷膜片的制备方法如下：

(1)将1.8g分散剂三乙醇胺溶于55g去离子水中，然后加入92g含7wt%VBCL 烧结助剂（按质量比B₂O₃∶CuO∶LiCO₃∶V₂O₅＝8.485∶1.515∶1∶0.22）的 (Ca_0.9375Sr_0.0625)_0.3(Li_1/2Sm_1/2)_0.7TiO₃陶瓷粉体，球磨混合10小时后，加入按体积比聚 乙烯吡咯烷酮∶苯丙乳胶＝1∶1.2的复合粘结剂36g、增塑剂邻苯二甲酸二丁酯4g， 继续球磨8小时；然后在浆料中加入成膜助剂磷酸三丁酯1.6g、消泡剂正丁醇0.6g， 放在磁力搅拌器上搅拌3小时，得到流延浆料；

(2)将流延浆料真空除泡后在流延机上进行流延成型；

(3)将流延成型的膜片在30℃温度下干燥3小时，然后从基带上剥离，即得到 陶瓷膜片。

本实施例制得的陶瓷膜片（厚度200μm）表面光滑且不开裂。将膜片放入烧结 炉中，以2℃/min的速率升至500℃进行排胶，保温2小时；然后以5℃/min的速率 升至875℃保温4小时可烧结。烧结后微波介质陶瓷的相对介电常数ε_r=81.6，品质 因素与频率乘积Qf=1240GHz，谐振频率温度系数τ_f=-22.46ppm/℃。

实施例八：

本实施例钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷膜片的制备方法如下：

(1)将2g分散剂三乙醇胺溶于60g去离子水中，然后加入96g含6wt%BBCL烧 结助剂（按质量比B₂O₃∶CuO∶LiCO₃∶Bi₂O₃＝8.375∶1.625∶1∶0.25）的 (Ca_0.9625Sr_0.0375)_0.3(Li_1/2Sm_1/2)_0.7TiO₃陶瓷粉体，球磨混合12小时后，加入按体积比聚 乙烯吡咯烷酮∶苯丙乳胶＝1∶1的复合粘结剂35g、增塑剂丙三醇5g，继续球磨10 小时；然后在浆料中加入成膜助剂磷酸三丁酯1.5g、消泡剂正丁醇0.8g，放在磁力 搅拌器上搅拌3小时，得到流延浆料；

(2)将流延浆料真空除泡后在流延机上进行流延成型；

(3)在60℃温度下干燥2小时，然后从基带上剥离，即得到陶瓷膜片。

本实施例制得的陶瓷膜片（厚度150μm）表面光滑且不开裂。将膜片放入烧结 炉中，以2℃/min的速率升至450℃进行排胶，保温2小时；然后以5℃/min的速率 升至890℃保温5小时可烧结。烧结后微波介质陶瓷的相对介电常数ε_r=75.7，品质 因素与频率乘积Qf=1543GHz，谐振频率温度系数τ_f=-24.48ppm/℃。

实施例九：

本实施例钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷膜片的制备方法如下：

(1)将1.5g分散剂三乙醇胺溶于55g去离子水中，然后加入95g含9wt%VBCL 烧结助剂（按质量比B₂O₃∶CuO∶LiCO₃∶V₂O₅＝12.5∶2.5∶1∶0.4）的 (Ca_0.9625Sr_0.0375)_0.2(Li_1/2Sm_1/2)_0.8TiO₃陶瓷粉体，球磨混合10小时后，加入按体积比聚 乙烯吡咯烷酮∶苯丙乳胶＝1∶1.5的复合粘结剂40g、增塑剂邻苯二甲酸二丁酯4g， 继续球磨8小时；然后在浆料中加入成膜助剂磷酸三丁酯1.5g、消泡剂正丁醇0.6g， 放在磁力搅拌器上搅拌3小时，得到流延浆料；

(2)将流延浆料真空除泡后在流延机上进行流延成型；

(3)将流延成型的膜片在40℃温度下干燥2.5小时，然后从基带上剥离，即得 到陶瓷膜片。

本实施例制得的陶瓷膜片（厚度200μm）表面光滑且不开裂。将膜片放入烧结 炉中，以2℃/min的速率升至500℃进行排胶，保温2小时；然后以5℃/min的速率 升至875℃保温4小时可烧结。烧结后微波介质陶瓷的相对介电常数ε_r=72.8，品质 因素与频率乘积Qf=1187GHz，谐振频率温度系数τ_f=23.54ppm/℃。

实施例十：

本实施例钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷膜片的制备方法如下：

(1)将1.8g分散剂三乙醇胺溶于75g去离子水中，然后加入105g含6.5wt%BBCL 烧结助剂（按质量比B₂O₃∶CuO∶LiCO₃∶Bi₂O₃＝8.375∶1.625∶1∶0.275）的 (Ca_0.9625Sr_0.0375)_0.3(Li_1/2Sm_1/2)_0.7TiO₃TiO₃陶瓷粉体，球磨混合10小时后，加入按体积 比聚乙烯吡咯烷酮∶苯丙乳胶＝1.2∶1的复合粘结剂37g、增塑剂丙三醇5g，继续 球磨10小时；然后在浆料中加入成膜助剂磷酸三丁酯1.8g、消泡剂正丁醇0.6g，放 在磁力搅拌器上搅拌3小时，得到流延浆料；

(2)将流延浆料真空除泡后在流延机上进行流延成型；

(3)将流延成型的膜片在30℃温度下干燥1小时后，再在50℃温度下干燥1小 时，然后从基带上剥离，即得到陶瓷膜片。

本实施例制得的陶瓷膜片（厚度150μm）表面光滑且不开裂。将膜片放入烧结 炉中，以2℃/min的速率升至450℃进行排胶，保温2小时；然后以5℃/min的速率 升至885℃保温5小时可烧结。烧结后微波介质陶瓷的相对介电常数ε_r＝78.9，品质 因素与频率乘积Qf=1854GHz，谐振频率温度系数τ_f=-15.46ppm/℃。

实施例十一：

本实施例钙锶锂钐钛系微波介质陶瓷膜片的制备方法如下：

(1)将1.5g分散剂三乙醇胺溶于65g去离子水中，然后加入95g含7wt%VBCL 烧结助剂（按质量比B₂O₃∶CuO∶LiCO₃∶V₂O₅＝8.485∶1.515∶1∶0.25）的 (Ca_0.9375Sr_0.0625)_0.2(Li_1/2Sm_1/2)_0.8TiO₃陶瓷粉体，球磨混合10小时后，加入按体积比聚 乙烯吡咯烷酮∶苯丙乳胶＝1∶1.5的复合粘结剂37g、增塑剂丙三醇6g，继续球磨 8小时；然后在浆料中加入成膜助剂磷酸三丁酯1.5g、消泡剂正丁醇0.6g，放在磁 力搅拌器上搅拌3小时，得到流延浆料；

(2)将流延浆料真空除泡后在流延机上进行流延成型；

(3)将流延成型的膜片在30℃温度下干燥3小时，然后从基带上剥离，即得到 陶瓷膜片。

本实施例制得的陶瓷膜片（厚度200μm）表面光滑且不开裂。将膜片放入烧结 炉中，以2℃/min的速率升至500℃进行排胶，保温2小时；然后以5℃/min的速率 升至865℃保温4小时可烧结。烧结后微波介质陶瓷的相对介电常数ε_r=75.3，品质 因素与频率乘积Qf=1736GHz，谐振频率温度系数τ_f=17.24ppm/℃。