20杆二维无耦合微位移工作台

摘要

本发明涉及20杆二维无耦合微位移工作台。该工作台包括基板、外层柔性铰链杆、驱动支座、电致伸缩器件、内层柔性铰链杆、工作台，四根均布的内层柔性铰链杆一端连接工作台，另一端连接驱动支座，驱动支座通过外层柔性铰链杆连接到基板上，驱动支座与基板凹槽之间设有电致伸缩器件，电致伸缩器件的一端顶在驱动支座的外端，另一端顶紧凹槽的侧壁。本发明采用20根柔性铰链杆形成双层柔性铰链杆对称一体化结构，整体采用线切割加工方法一次切割完成，无装配元件，可实现输出位移与输入位移成正比的独立、无耦合一维或者二维运动，具有分辨率高、结构紧凑的优点，适用于小行程、轻载的微机电系统、扫描探测显微镜、超精密加工、光学元件制造等领域。