具有弯曲的散斑减少元件表面的光学投影系统

摘要

在包括图像形成系统(12)、中继系统(18)、散斑减少元件(40)和投影子系统(20)的相干光投影系统中，中继系统可以具有第一f数，并且投影子系统可以具有比第一f数小的第二f数。中继系统可以具有第一焦点距离(Wa)，并且投影子系统可以具有小于第一焦点距离的第二焦点距离(Wb)。图像形成系统可以投影具有第一尺寸的初始图像，并且中间图像可以具有大于或等于第一尺寸的第二尺寸。散斑减少元件可以具有弯曲表面，中间图像经过该弯曲表面。散斑减少元件可以包括形成在其表面上的小透镜布置(44)。散斑减少元件可以在平行于散斑减少元件的光轴的方向上移动。