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在经调节压力下使用氦的高温工艺改进

摘要

本发明公开了一种用于在用于处理材料诸如生长晶体的真空熔炉中减少多余的辅助反应的方法。该工艺在熔炉腔室环境中执行,其中容许氦气以用于冲除杂质的流率并且以用于在热区中实现热稳定性的预定压力进入熔炉腔室,以减小热流变化并且减小热区中的温度梯度。在冷却期间,使用氦压力来降低热梯度从而增加冷却速率。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-10-10

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C30B29/20 申请公布日:20120801 申请日:20100901

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2016-01-20

    著录事项变更 IPC(主分类):C30B29/20 变更前: 变更后: 申请日:20100901

    著录事项变更

  • 2016-01-20

    专利申请权的转移 IPC(主分类):C30B29/20 登记生效日:20151231 变更前: 变更后: 申请日:20100901

    专利申请权、专利权的转移

  • 2012-10-03

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B29/20 申请日:20100901

    实质审查的生效

  • 2012-08-01

    公开

    公开

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