防止微电子基片研磨介质抱团的氧化铝微粉的生产方法

摘要

本发明涉及一种防止微电子基片研磨介质抱团的氧化铝微粉的生产方法，包括以下工艺步骤：（1）将氧化铝微粉在球磨机上进行球磨；（2）在分选桶内投入氧化铝微粉、水和分散剂，进行充分搅拌；沉降；（3）分选：用虹吸管把分选桶内的上层料浆吸出，然后在分选桶中加清水至虹吸前的液面；再进行搅拌、沉降、虹吸；重复6~10次，即可得到一个级别的微粒；向分选桶内加入分散剂和清水至虹吸前的液面，重复上述步骤中搅拌、沉降、虹吸的步骤，重复操作6~10次，得到另一级别的微粒；分级由细到粗进行，先分细级别的，后分粗级别的，直至全部分级完毕；（4）将微粒烘干，即得成品。本发明解决了微电子基片研磨过程中研磨介质的团聚现象，均匀性好。