单晶硅太阳能电池前表面用叠层复合钝化膜

摘要

一种单晶硅太阳能电池前表面用叠层复合钝化膜，在太阳能电池单晶硅基体（5）的前表面，从内至外依次设有氧化硅薄膜（4）、氢化非晶硅薄膜（3）和氮化硅薄膜（2）。本发明的氧化硅薄膜使电池片的表面态密度同硅的原子密度在同数量级，氢化非晶硅薄膜能有效地填补电池片表面的悬挂建，氮化硅薄膜同时起着钝化与减反射的效果，整个钝化层与封装用的材料EVA及玻璃有着良好的光学匹配性。