一种LPCVD工艺中的冷却腔传输系统

摘要

本发明涉及一种LPCVD工艺中的冷却腔传输系统，具体地讲是涉及一种降低玻璃破碎率的LPCVD工艺中的冷却腔传输系统。该系统包括一组传动滚轮，还包括从动滚轮和由传动滚轮驱动的传送皮带，传动滚轮和从动滚轮分别位于传送皮带传送方向的两端。该系统简化了结构的同时，消除了玻璃基板自身的变形以及局部温度变化过于剧烈等两个导致玻璃破损的因素，降低了玻璃传输过程中的破碎率，提高了生产的稳定性，且易于维护。