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一种在可见光区域反射无色光的减反射膜制作方法

摘要

本发明公开了一种在可见光区域反射无色光的减反射膜制作方法,包括以下步骤:一)PMMA板材除湿;二)真空镀减反射膜:1)将PMMA板材放入镀膜机的真空室内,2)对PMMA板材的上表面进行除水;3)对PMMA板材进行表面清洁和活化;4)对镀膜机的真空室进行加热;5)在PMMA板材的上表面上逐层沉积厚度为12.6nm~13.6nm的氧化锆膜、厚度为17.2nm~18.2nm的二氧化硅膜、厚度为83.4nm~88.2nm的氧化锆膜和厚度为62nm~65.8nm的二氧化硅膜;三)从镀膜机的真空室中取出镀完减反射膜的PMMA板。本发明实现了入射光在经过减反射膜后,减反射的同时,在可见光区域的反射率基本保持数值一致,从而使减反射膜的反射光趋向于无色,以得到反射无色的良好减反射效果。

著录项

  • 公开/公告号CN102560363A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-07-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 天津美泰真空技术有限公司;

    申请/专利号CN201210060009.2

  • 申请日2012-03-08

  • 分类号C23C14/08;C23C14/10;C23C14/32;B32B27/06;B32B27/32;

  • 代理机构天津市北洋有限责任专利代理事务所;

  • 代理人张金亭

  • 地址 301609 天津市静海县经济技术开发区天宇科技园

  • 入库时间 2023-12-18 05:55:46

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-04-02

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/08 申请公布日:20120711 申请日:20120308

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2012-09-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/08 申请日:20120308

    实质审查的生效

  • 2012-07-11

    公开

    公开

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