利用飞秒激光制备三维光学回音壁模式微腔的方法

摘要

一种利用飞秒激光制备具有高品质因子的三维的光学回音壁模式微腔的方法，包括对透明材料飞秒激光辐照、化学腐蚀和二氧化碳激光退火等步骤，本发明制备的三维的光学回音壁模式微腔，所述的小支柱的尺寸、微盘的尺寸、小支柱和微盘相对于衬底的夹角由设计确定。微腔的轮廓为微环形结构，表面光洁度极高，品质因子很高。