X射线荧光光谱法分析有机硅触体中17种元素的含量

摘要

本发明涉及一种X射线荧光光谱仪测定了触体中17种元素的含量。通过粉末压片法制样，自制标准样品，建立了各元素的XRF工作曲线，通过实验测定了各元素的相对标准偏差小于10%，精密度能够满足跟踪生产测试要求。将该方法测定结果与ICP-AES法对比，准确度满足工业硅企业标准分析误差要求。