大型空间环境模拟器清洁真空抽气技术

摘要

本发明涉及大型空间环境模拟器清洁真空抽气技术。这项技术主要应用于大型空间环境模拟器的研制中，为航天器试验中提供高真空试验条件。要获得大型空间模拟器的高真空，真空系统首先利用新型无油的粗抽机组将真空容器内进行真空抽气到10Pa以下，然后利用涡轮分子泵进行过渡抽气到主泵的启动真空度，最后利用低温泵作为主泵高真空抽气达到设备工作真空度优于1.3×10-3Pa，并维持工作真空度至试验结束，这套高真空抽气技术采用完全无油的真空抽气设备解决了大型空间模拟器清洁高真空的获得问题。