偏振无关宽带反射光栅

摘要

一种适用于中心波长800纳米波段的偏振无关宽带反射光栅，其结构为基底上依次镀上氧化铝膜、银膜、氧化铝膜和熔融石英膜，介于银膜与熔融石英膜之间的氧化铝膜为连接层。在熔融石英膜层上刻蚀矩形槽光栅，光栅周期为748～766纳米，占空比为0.64～0.65，刻蚀深度为920～943纳米，连接层厚度为10～20纳米。TE或TM偏振光以800纳米波长对应的利特罗角入射时，均可以实现100纳米波长带宽内(750～850纳米)-1级衍射效率高于90％。本发明可以由光学全息记录技术或电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺以及镀膜技术加工而成，取材方便，造价小，具有重要的实用前景。