一种大口径凸非球面的全孔径检测方法

摘要

本发明的大口径凸非球面的全孔径检测方法，包括以下步骤，利用透镜的凹面上第一区域的曲面计算全息图，以曲面计算全息法对与所述凹面相对的待测面的中心区域进行检测；利用透镜的凹面上第二区域的曲面计算全息图，以曲面计算全息法对与所述凹面相对的待测面的边缘区域进行检测。本发明的大口径凸非球面全孔径检测方法，根据设计过程中检测系统中的照明物镜的误差，以及实际加工时曲面计算全息图所能达到的最小特征尺寸，来确定曲面计算全息图中心和边缘两部分的分界线和各自的光焦度。利用本发明的检测方法可以很容易实现大口径凸非球面的全孔径检测，同时它能加大全息图的最小特征尺寸，缩短检测时间，减少检测成本，具有很高的实用性。