激光回馈光学元件位相延迟在盘检测装置

摘要

本发明公开一种激光回馈光学元件位相延迟在盘检测装置，包括激光器、激光回馈外腔以及数据采集与处理系统，其中；激光器，为光学元件位相延迟检测向激光回馈外腔提供测量光；激光回馈外腔，实现激光偏振态的偏振跳动过程，并向数据采集与处理系统传输光强信号；数据采集与处理系统，接收内腔长调节阶段扫描的光强信号和外腔长调节阶段扫描的光强信号并进行比较计算处理。本发明利用He-Ne激光器与外部凹面反射镜构成激光回馈系统，在光学元件光胶于光胶盘的状态下测量光学元件的位相延迟。由于测量光从光胶盘的孔中穿过，消除了光胶盘内应力和光学元件与光胶盘光胶附着力产生的双折射效应，从而提高波片生产成品率。