法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-14
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/44 登记生效日:20171025 变更前: 变更后: 申请日:20100804
专利申请权、专利权的转移
2015-03-18
授权
授权
2012-07-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/44 申请日:20100804
实质审查的生效
2012-05-23
公开
公开
机译: 亚光刻间距结构与光刻间距结构之间的互连
机译: 亚光刻间距结构与光刻间距结构之间的互连
机译: 亚光刻间距结构与光刻间距结构之间的互连