法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/27 授权公告日:20121121 终止日期:20150127 申请日:20110127
专利权的终止
2012-11-21
授权
授权
2011-07-20
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/27 申请日:20110127
实质审查的生效
2011-05-18
公开
公开
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