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使用散斑抑制元件上的小透镜排列的光学投影系统

摘要

在一种包括图像形成系统(12)、中继系统(18)、散斑抑制元件(40)和投影子系统(20)的相干光投影系统中,中继系统可以具有第一f数,投影子系统可以具有小于第一f数的第二f数。中继系统可以具有第一工作距离(Wa),投影子系统可以具有小于第一工作距离的第二工作距离(Wb)。图像形成系统可以投影具有第一尺寸的初始图像,中间像可以具有大于或等于第一尺寸的第二尺寸。散斑抑制元件可以具有通过其来传递中间像的弯曲表面。散斑抑制元件可以包括形成在其表面上的小透镜排列(44)。散斑抑制元件可以在与散斑抑制元件的光轴平行的方向上移动。

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