一种可主动补偿面型磨损误差的磨具及其补偿方法

摘要

本发明公开了一种可主动补偿面型磨损误差的磨具及其补偿方法，属于超精密加工技术领域。本发明的装置利用内置压电陶瓷阵列进行磨具面型误差主动补偿，压电陶瓷阵列由压电陶瓷单元、电压信号输入端子组成；压电陶瓷阵列置于磨具内部，电压信号输入端子置于压电陶瓷阵列与磨具基体之间。本发明的方法如下：将压电陶瓷阵列均匀置于磨具内部，根据磨具初始面型或磨损情况，对相应位置的压电陶瓷施加一定的直流电压信号，使压电陶瓷产生相应的伸缩变形，迫使磨具面型产生变化，以达到调整当前磨具表面面型的目的。本发明结构简单、机械集成度高、稳定可靠，在精密加工，尤其是面型加工中具有广泛应用前景。