法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-06-11
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01H11/00 申请公布日:20120222 申请日:20111009
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-04-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01H11/00 申请日:20111009
实质审查的生效
2012-02-22
公开
公开
机译: 磁控型溅射装置及制造半导体装置的方法
机译: 磁控型溅射装置及制造半导体装置的方法
机译: 具有分层控制参数的磁控密封开关的制造方法