电子回旋共振磁性模块与电子回旋共振装置

摘要

本发明公开一种电子回旋共振磁性模块与电子回旋共振装置，其中该磁性模块具有多层导磁环体以及多个磁柱，每一个导磁环体具有一内环壁与一外环壁，每一个导磁环体内开设有多个径向孔。该多个磁柱，其分别嵌入于该多层导磁环体所具有的径向孔内，其中，相邻的两导磁环体所具有的磁柱的磁场方向相反。利用该磁性模块的电子回旋共振装置能在高真空下运作以利于基材上形成单原子层的镀膜。