公开/公告号CN102346227A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-02-08
原文格式PDF
申请/专利权人 河南省电力公司安阳供电公司;
申请/专利号CN201010244746.9
申请日2010-08-04
分类号G01R31/08;H04N7/18;
代理机构郑州中原专利事务所有限公司;
代理人张春
地址 455000 河南省安阳市中州路北段
入库时间 2023-12-18 04:17:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-07-16
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01R31/08 申请公布日:20120208 申请日:20100804
发明专利申请公布后的驳回
2012-03-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/08 申请日:20100804
实质审查的生效
2012-02-08
公开
公开
机译: 基于辉光放电等离子体正柱的面膜和晶圆检查系统的表面和组件的清洁系统和方法
机译: 基于辉光放电等离子体的正柱清洁面膜和晶圆检查系统的表面和组件的系统和方法
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