一种角位移精密测量装置

摘要

本发明提出一种角位移精密测量装置，包括转子和测头，测头均匀分布在转子外围或内圈，并位置固定且与转子有间隙；每个测头至少由一个绕线骨架构成并至少绕有一组线圈；而转子的外周或内圈具有导磁体等分间隔排列结构；每一组线圈的结构、尺寸、线圈参数均相同，组与组之间空间位置正交错位；当测头和转子发生相对运动时，因磁通发生变化而使感应信号幅值发生变化；激励信号和感应线圈输出的电信号分别连接到调理电路处理后再送到信号处理电路作鉴相或鉴幅处理，信号的相位差或幅值差由插补的时钟脉冲个数表示，再换算成角位移值。本装置可以做成独立的传感器，也可以将等分导磁体依附于被检测的旋转机械部件如蜗轮、轴承等，尤其是可以直接将同时具有导磁和等分特征的被测齿轮、蜗轮等当作转子而实现其角位移在线精密测量。