校准装置、缺陷检测装置、缺陷修复装置、校准方法

摘要

本发明提供一种校准装置、缺陷检测装置、缺陷修复装置、校准方法。本发明的校准装置包括：照相机，用来拍摄对象物；图像获取部，获取所述照相机拍摄的拍摄图像；坐标对应信息生成部，生成包含坐标值的坐标对应信息，所述坐标值用来确定所述图像获取部获取的所述拍摄图像上的多个标记的位置；以及坐标变换部，利用包含用来确定所述对象物上所述标记的位置的坐标值的标记坐标信息和所述坐标对应信息，计算出用来确定对象物上与所述坐标取得部所获取的坐标对应的位置的坐标值，所述校准装置还具备坐标对应信息校正部，当坐标对应信息中所述标记之间的间距与基准间距不同时，所述坐标对应信息校正部对所述坐标对应信息进行校正。