彩色滤光片生产线、生产线控制系统、生产线控制方法

摘要

本发明提供一种可减少设置空间及所需装置的台数的彩色滤光片生产线。构成彩色滤光片生产线的着色图案形成生产线(121)具备在光刻法的各个制造工序并列地设置的多台处理装置(清洗装置(110a)～烘烤装置(114b))和连接各个处理装置的多台搬运装置(101a～108b)。各个处理装置可切换地进行既定的两种颜色的着色图案形成。着色图案形成生产线(121)通过控制各个搬运装置的搬运目的地，使基板重复循环到在从搬入装置LD所投入的基板上形成全部4种颜色的着色图案为止，并向搬出装置ULD排出已形成全部4种颜色的着色图案的基板。通过在形成两种颜色的着色图案时共用各个处理装置，可减少所需装置的台数及专有面积。

说明书

技术领域

本发明涉及用于制造在液晶显示装置等中所使用的彩色滤光片的彩色滤光片生产线、用于控制该生产线的生产线控制系统及生产线控制方法。

背景技术

作为在液晶显示装置中所使用的彩色滤光片的制造方法，一般利用光刻法在玻璃基板上形成多种颜色的着色图案的方法。例如，在制造设置有黑色矩阵(黑)、以及红、绿、蓝共4种颜色的着色图案的彩色滤光片时，对黑、红、绿、蓝各种颜色重复进行一连串的着色图案形成处理，其包含基板的清洗、对基板上涂敷着色材料、使用光罩的曝光、显像、后烘烤各个制造工序。并且，在制造设置有黑色矩阵(黑)、以及红、绿、蓝、黄共5种颜色的着色图案的彩色滤光片时，对黑、红、绿、蓝、黄各种颜色重复上述着色图案形成处理。

图10为表示现有的彩色滤光片生产线的示意图，图11为表示图10所示的彩色滤光片生产线的一部分的方块图。

为了进行上述各种颜色的着色图案形成处理，在图10所示的现有的彩色滤光片生产线，串联地设置用于形成黑、红、绿、蓝这4种颜色的着色图案的4条处理生产线92a～92d。

处理生产线92a例如为用于产生黑色矩阵的图案，具备搬入由存储装置91所提供的基板的搬入装置LD、清洗装置93、涂敷装置94、曝光装置95、显像装置96、烘烤装置97及将基板搬出到存储装置91的搬出装置ULD。这些各装置之间由搬运基板的搬运装置81～86连接。并且，在涂敷装置94的下游设置检查膜厚或涂敷不均的线上检查装置98，而在显像装置96的下游设置检查所形成的图案的线上检查装置99。并且，在搬运装置6上连接有用于进行基板的抽取检查的抽取检查装置70和修补基板的修补装置71。

在存储装置91的内部，基板以收纳于料匣(cassette)的状态被存储。搬入装置LD从自存储装置91所收到的料匣取出基板，并提供给搬运装置81。所提供的基板由搬运装置81向清洗装置93搬运、清洗后，由搬运装置82向涂敷装置94搬运，由涂敷装置94涂敷包含有黑色的着色材料的光阻剂。被涂敷光阻剂的基板，由检查装置98检查后，由搬运装置83搬运到曝光装置95，由曝光装置95使用光罩进行曝光处理。曝光后的基板由搬运装置84向显像装置96搬运并进行显像后，在由搬运装置85所进行的搬运过程中由检查装置99检查。对检查无异常的基板，由烘烤装置97进行后烘烤处理，由搬运装置86向搬出装置ULD搬运。搬出装置ULD将所收到的基板收纳于料匣，并将该料匣搬出到存储装置91。

虽然各装置在某种程度下遵守周期进行动作，但是由于装置的故障或异常处理所引起的处理时间的增加等，有时会在生产线内发生基板滞留的现象。因此，在预先被预测滞留的位置的搬运装置设置用于暂时存储滞留基板的缓冲装置(未图示)。缓冲装置一般具有多段棚架结构，并具备有根据由控制装置所进行的控制，存储多个基板，并且向搬运路径上排出所存储的基板的功能。通过将缓冲装置适当地配置于生产线内，可缓冲基板的滞留，并提高各处理装置的运行效率。

并且，其它的处理生产线92b～92d也由和处理生产线92a所包含的一样的处理装置、搬运装置及检查装置所构成。

已利用处理生产线92a产生黑色矩阵图案的基板，在被收纳于料匣的状态下，被提供到下游的处理生产线92b，利用处理生产线92b形成红色的着色图案。以后，同样经由处理生产线92c及92d的处理，在基板上形成4种颜色的着色图案。

【专利文献1】日本特开2004-109968号公报

【专利文献2】日本特开2008-108878号公报

【专利文献3】日本特开2004-103947号公报

发明内容

在上述现有的彩色滤光片生产线，由于需要所形成的着色图案的颜色数量的处理生产线，因此存在有生产线的设置所需的空间变大的问题。近年来，由于玻璃基板的尺寸大型化，因此上述制造线的设置所需的空间也随着基板尺寸的大型化而增大，从而导致制造设备所需的成本增加。

并且，在该彩色滤光片生产线，构成处理生产线的各处理装置(清洗、涂敷、曝光、显像及烘烤的各装置)及检查装置、以及连接这些装置的搬运装置需要与着色图案的色数相应的台数。因此，所需的装置台数变多也同时导致了制造设备所需的成本增多。

除了这种问题以外，在设置缓冲装置时，也有如下问题。

在具备有缓冲装置的彩色滤光片生产线中，有可能产生长期存储在缓冲装置的基板、或缓冲装置收纳不下而滞留在搬运路径上的基板。但是，从着色图案的形成开始到结束为止的处理时间变长会有损于质量。

在代替对各种颜色设置着色图案形成用生产线，而在一条生产线内，在形成两种颜色以上的着色图案时共用进行各制造工序的处理的处理装置和搬运装置，并且在搬运路径上存在多条分支和汇流的方式的制造生产线(例如，参照专利文献3)中，存在有缓冲(buffering)本身不容易的问题。即，在加工状态不同的多个基板共用1台处理装置及1台搬运装置时，由于在某种颜色的着色图案形成处理中发生的故障所造成的基板滞留也会对其它颜色的着色图案形成处理有影响，因此难以单纯地仅靠缓冲装置来吸收基板的滞留。

本发明的目的在于：提供一种可减少设置空间及所需装置台数的彩色滤光片生产线。

并且，本发明的其它目的在于：提供一种生产线控制系统及生产线控制方法，其在形成多种颜色的着色图案时共用处理装置及搬运装置的方式的彩色滤光片生产线，即使在某颜色的着色图案形成用的装置发生故障的情况，也可使其它颜色的着色图案形成处理得以继续。

并且，本发明的其它目的在于：提供一种彩色滤光片生产线，其在形成多种颜色的着色图案时共用处理装置及搬运装置的同时，即使在某种颜色的着色图案形成用的装置发生故障的情况，也可使其它颜色的着色图案形成处理得以继续。

本发明涉及在基板上依序形成至少4种颜色的着色图案的彩色滤光片生产线，其具备：存储基板的存储装置；着色图案形成生产线，包含：多台处理装置，为了进行光刻法的各个制造工序的处理而并列地设置，及多台搬运装置，连接处理装置之间，根据在基板上所形成的着色图案，向既定的处理装置搬运基板，而在光刻法的各个制造工序，在形成两种颜色的着色图案时共用处理装置的至少一台；搬入装置，将由存储装置所提供的基板搬入着色图案形成生产线；以及搬出装置，将从着色图案形成生产线所排出的基板朝存储装置搬出。着色图案形成生产线使基板重复循环到在基板上形成所需的着色图案为止，并将已形成所需的着色图案的基板排出到搬出装置。

本发明的生产线控制系统用于控制彩色滤光片生产线，其包含多台处理装置、连接处理装置的多台搬运装置及暂时存储多个基板的缓冲装置，并在形成多种颜色的着色图案时共用处理装置及搬运装置，该生产线控制系统具备：监视信息取得手段，取得监视信息，该监视信息显示处理装置、搬运装置及缓冲装置各自的运行状况；动作控制手段，控制处理装置、搬运装置及缓冲装置的动作；以及监视手段，根据从监视信息取得手段所取得的监视信息，监视监视对象装置的运行状况，并对动作控制手段指示：停止从位于监视对象装置的上游侧的至少一台装置排出基板及解除停止。

本发明的生产线控制方法控制彩色滤光片生产线，该彩色滤光片生产线包含：多台处理装置、连接该处理装置的多台搬运装置以及暂时存储多个基板的缓冲装置，并在形成多种颜色的着色图案时共用该处理装置及该搬运装置。该生产线控制方法取得处理装置、搬运装置及缓冲装置各自的运行状况，监视所取得的各个装置的运行状况，判定是否限制对监视对象装置的基板的提供，并根据判定结果，使该监视对象装置的上游侧的至少一台装置停止排出基板及解除停止。

本发明的彩色滤光片生产线用于在基板上形成多种颜色的着色图案，该彩色滤光片生产线具备：处理装置，进行光刻法的各个制造工序的处理，并共用于形成多种颜色的着色图案；多台搬运装置，连接处理装置，并共用于形成多种颜色的着色图案；缓冲装置，暂时存储多个基板；以及控制装置，控制各个处理装置、搬运装置及缓冲装置。各个处理装置、搬运装置及缓冲装置包含：监视信息取得部，取得表示运行状况的监视信息；及动作控制部，根据来自控制装置的指示，控制动作。控制装置根据从监视信息取得部所发送的监视信息，监视监视对象装置的运行状况，并对监视对象装置上游侧的至少一台装置的动作控制部指示停止基板的排出及解除停止。

在本发明的彩色滤光片生产线，由于在各个制造工序，在形成两种颜色的着色图案的处理共用一台处理装置，因此和对各种颜色设置处理生产线的情况相比，可大大减少彩色滤光片生产线的设置所需的空间。并且，由于可降低所需的装置台数，因此可减少构成彩色滤光片生产线所需的成本。

使用本发明，可实现一种生产线控制系统及生产线控制方法，其在形成多种颜色的着色图案时共用处理装置及搬运装置的方式的彩色滤光片生产线，通过控制来自监视对象装置上游侧的装置的基板的排出，即使在某种颜色的着色图案形成用的装置发生故障的情况下，也可使其它颜色的着色图案形成处理得以继续。

并且，可实现一种彩色滤光片生产线，其在形成多种颜色的着色图案时共用处理装置及搬运装置的同时，即使在某种颜色的着色图案形成用的装置发生故障的情况下，也可使其它颜色的着色图案形成处理得以继续。

附图的简单说明

图1为表示本发明的第一实施方式的彩色滤光片生产线的一部分的示意图。

图2为图1所示的缓冲装置的示意图。

图3为表示图2所示的缓冲装置的控制处理的流程图。

图4为表示本发明的第二实施方式的彩色滤光片生产线的一部分的示意图。

图5为表示本发明的第三实施方式的彩色滤光片生产线的一部分的方块图。

图6为表示本发明的第三实施方式的生产线控制系统的结构的方块图。

图7为表示图6所示的生产线控制系统的细节的功能方块图。

图8为表示图5所示的生产线的一部分的示意图。

图9为表示图6所示的监视部所进行的控制处理的流程图。

图10为表示现有的彩色滤光片生产线的示意图。

图11为表示图10所示的彩色滤光片生产线的一部分的方块图。

(符号的说明)

101～108-搬运装置；109-存储装置；110-清洗装置；111-涂敷装置；112-曝光装置；113-显像装置；114-烘烤装置；121-着色图案形成生产线；122-缓冲装置；LD-搬入装置；ULD-搬出装置；201-彩色滤光片生产线；204-清洗装置；205-涂敷装置；206-曝光装置；207-显像装置；208-烘烤装置；211～216-搬运装置；221～224-缓冲装置；230-生产线控制系统；231-控制装置。

具体实施方式

(第一实施方式)

图1为表示本发明的第一实施方式的彩色滤光片生产线的一部分的示意图。图1仅表示彩色滤光片制造过程中用于利用光刻法形成4种颜色的着色图案的处理线。并且，图1中的箭形符号表示各个装置之间的连接关系和基板的搬运方向。

本实施方式的彩色滤光片生产线具备：存储装置109、搬入装置LD、搬出装置ULD、并行地进行两种颜色以上的着色图案形成处理的着色图案形成生产线121、以及缓冲装置122a与122b。

存储装置109是存储收纳玻璃基板的多个料匣及多个空料匣的装置，例如相当于自动仓库。存储装置109具备有用于移送料匣的移送装置，将收纳了玻璃基板的料匣提供给搬入装置LD，并从搬入装置LD回收空料匣。存储装置109将空料匣提供给搬出装置ULD，并从搬出装置ULD回收收纳了玻璃基板的料匣。

搬入装置LD从由存储装置109所提供的料匣取出未处理的基板，将所取出的基板提供给着色图案形成生产线121的搬运装置101a或101b。

搬出装置ULD将从着色图案形成生产线121所排出的基板收纳于料匣，将收纳了基板的料匣搬出到存储装置109。

着色图案形成生产线121具备：在光刻法的各个制造工序的各个处理并列地设置的多台处理装置、及多台搬运装置101a～108b。在本实施方式，为了进行光刻法的主要制作工序(清洗、涂敷、曝光、显像及烘烤)的处理，在各个制造工序中各设置两台处理装置，即清洗装置110a及110b、涂敷装置111a及111b、曝光装置112a及112b、显像装置113a及113b以及烘烤装置114a及114b。

各个处理装置是可适当地切换并进行两种颜色以上的着色图案形成处理的装置。例如，各个涂敷装置111a及111b至少具备有两台对基板表面涂敷光阻剂的涂敷机构，可应形成于基本上的着色图案的颜色，切换所使用的涂敷机构，并分开涂敷颜色不同的光阻剂。并且，曝光装置112a及112b具备有切换机构，其应形成的着色图案的颜色，而切换光罩本身或光罩的配置。

搬运装置101～108b连接各个处理装置之间，并将已利用各个处理装置而施加处理的基板向接下来的处理装置或检查装置、搬出装置ULD搬运。基板的搬运目的地是通过各个搬运装置根据基板上的着色图案判别接下来应进行的处理而决定的。在图1中，虽然区别地示出了对应于各个处理装置而设置的搬运装置(例如，搬运装置101a、101b)和对同一制造工序的处理装置共用的搬运装置(例如，搬运装置103)，但是对搬运装置101～108b的方式并未进行特别限定，可任意决定是否将搬运装置共通化。

此外，在本发明中，虽然对各种颜色的着色图案的形成顺序并未进行特别限定，但是为了简化说明，在以下所说明的例子中，其着色图案的形成顺序是按照黑、红、绿以及蓝的顺序，再用清洗装置110a、涂敷装置111a、曝光装置112a、显像装置113a以及烘烤装置114a(附加朝右下的斜线的装置)进行黑和红这两种颜色的着色图案形成处理，用清洗装置110b、涂敷装置111b、曝光装置112b、显像装置113b以及烘烤装置114b(附加朝右上的斜线的装置)进行绿和蓝的着色图案形成处理。

缓冲装置122a及122b是和搬运装置108a连接，是暂时存储在搬运装置108a的搬运路径上所搬来的基板的装置。缓冲装置122a与122b是使用于用以调整在着色图案形成生产线121内流动的基板的顺序或个数等的缓冲、排列处理，其细节将后述。

除了上述的各个装置以外，在涂敷装置111a及111b、和曝光装置112a及112b之间的搬运路径上，还设置用以检查膜或涂敷不均的线上检查装置115a及115b。并且，在烘烤装置114a及114b和搬出装置ULD之间的搬运路径上，设置检查所形成的着色图案的线上检查装置116。

并且，在搬运装置103，连接抽取检查装置117，其抽取并检查已被涂敷光阻剂的一部分基板，将检查后的基板送回搬运装置103。同样地，在搬运装置106，连接抽取检查装置118，其抽取并检查显像处理后的一部分基板，将检查后的基板送回搬运装置106，而在搬运装置108b，连接抽取检查装置119及120，其抽取并检查已形成全部颜色的着色图案的一部分基板，将检查后的基板送回搬运装置108b。此外，这些检查装置可配置于生产线上的任意位置，也可配置于图1所示以外的位置。

在此，说明通过着色图案形成生产线121所进行的着色图案形成处理、和使用缓冲装置122a与122b的缓冲、排列处理。

着色图案形成生产线121是使加工中的基板循环到在由搬入装置LD所投入的基板上形成全部4种颜色的着色图案为止，将已形成全部4种颜色的着色图案的基板排出到搬出装置ULD。

在本实施方式中，由搬运装置107、搬运装置108a及108b控制是否再向处理装置提供已由烘烤装置114a及114b处理过的基板。更具体地说，搬运装置107将已由烘烤装置114a及114b进行烘烤处理的基板中已形成两种颜色或3种颜色的着色图案的基板搬运到搬运装置108a，经由检查装置116而将已形成一种颜色或全部4种颜色的着色图案的基板搬运到搬运装置108b。搬运装置108a将从搬运装置107所搬来的基板搬运到搬运装置101b。另一方面，搬运装置108b将已形成1种颜色的着色图案的基板搬运到搬运装置101a，已将形成全部4种颜色的着色图案的基板搬运到搬出装置ULD。并且，搬运装置108a及108b也将在任一台检查装置被判断为不良品的基板搬运到搬出装置ULD。

到在由搬入装置LD所投入的基板形成第1种颜色～第4种颜色的着色图案为止的具体搬运路径如下。

(第一种颜色(黑)的着色图案形成处理)

由搬入装置LD向搬运装置101a所投入的基板的搬运路径如下。

搬运路径1

搬入装置LD-搬运装置101a-清洗装置110a-搬运装置102a-涂敷装置111a-搬运装置103-(抽取检查装置117-搬运装置103)-检查装置115a-搬运装置104-曝光装置112a-搬运装置105-显像装置113a-搬运装置106-(抽取检查装置118-搬运装置106)-烘烤装置114a-搬运装置107-检查装置116-搬运装置108b-(抽取检查装置119或抽取检查装置120-搬运装置108b)-搬运装置101a

在该搬运路径1搬运基板的过程，通过各个处理装置对基板施加处理，而在基板的表面形成第一种颜色的着色图案(黑色矩阵)。经由搬运装置107及搬运装置108b而将已正常地形成第一种颜色的着色图案的基板再次搬运到搬运装置101。

(第二种颜色(红)的着色图案形成处理)

由搬运装置108b向搬运装置101a所投入的基板的搬运路径如下。

搬运路径2

搬运装置101a-清洗装置110a-搬运装置102a-涂敷装置111a-搬运装置103-(抽取检查装置117-搬运装置103)-检查装置115a-搬运装置104-曝光装置112a-搬运装置105-显像装置113a-搬运装置106-(抽取检查装置118-搬运装置106)-烘烤装置114a-搬运装置107-检查装置116-搬运装置108a-搬运装置101b。

基板在搬运上述搬运路径2的过程中，对基板施行利用各个处理过程中的装置所进行的处理，以在基板的表面形成第二种颜色(红)的着色图案。正常地形成有第二种颜色的着色图案的基板经由搬运装置107、搬运装置108a，而被搬运到搬运装置101b。

(第三种颜色(绿)的着色图案形成处理)

由搬运装置108a向搬运装置101b所投入的基板的搬运路径如下。

搬运路径3

搬运装置101b-清洗装置110b-搬运装置102b-涂敷装置111b-搬运装置103-(抽取检查装置117-搬运装置103)-检查装置115b-搬运装置104-曝光装置112b-搬运装置105-显像装置113b-搬运装置106-(抽取检查装置118-搬运装置106)-烘烤装置114b-搬运装置107-搬运装置108a-搬运装置101b。

在该搬运路径3搬运基板的过程中，通过各个处理装置对基板施加处理，而在基板的表面形成第三种颜色(绿)的着色图案。经由搬运装置107、搬运装置108a而将已正常地形成第三种颜色的着色图案的基板再次搬运到搬运装置101b。

(第四种颜色(蓝)的着色图案形成处理)

由搬运装置108a向搬运装置101b所投入的基板的搬运路径如下。

搬运路径4

搬运装置101b-清洗装置110b-搬运装置102b-涂敷装置111b-搬运装置103-(抽取检查装置117-搬运装置103)-检查装置115b-搬运装置104-曝光装置112b-搬运装置105-显像装置113b-搬运装置106-(抽取检查装置118-搬运装置106)-烘烤装置114b-搬运装置107-检查装置116-搬运装置108b(抽取检查装置119或抽取检查装置120-搬运装置108b)-搬出装置ULD。

在该搬运路径4搬运基板的过程中，通过各个处理装置对基板施加处理，而在基板的表面形成第四种颜色(蓝)的着色图案。经由搬运装置107、检查装置116及搬运装置108b而将已正常地形成第四种颜色的着色图案的基板搬运到搬出装置ULD。

其次，说明使用缓冲装置122a与122b进行的“缓冲、排列处理”。

在如上述以搬运路径1～4连续地使基板循环的情况下，由于各种加工状态下的基板存在于生产线内，因此最好适当地控制基板的搬运状态。故而，在本实施方式的彩色滤光片生产线，沿着搬运装置108a的搬运路径设置暂时存储基板的缓冲装置122a及122b。

图2为图1所示的缓冲装置122a与122b的示意图。

缓冲装置122a及122b被设置为沿着搬运装置108a的搬运路径123，并由未图示的控制装置控制各个动作。缓冲装置122a存储多个由上游的装置在搬运路径123上被搬来的基板(虚线)中已形成第一种颜色及第二种颜色的着色图案的基板，并且，取出所存储的基板并向下游的装置排出。缓冲装置122b也同样地存储多个在搬运路径123被搬来的基板中已形成第一种颜色～第三种颜色的着色图案的基板，取出所存储的基板并向下游的装置排出。

着色图案形成生产线121通过向缓冲装置122a及122b存储基板及从缓冲装置122a及122b排出基板(以下将这些总称为“缓冲(buffering)”，而向搬运装置101b交替地提供需要第三种颜色的处理的基板和需要第四种颜色的处理的基板。并且，着色图案形成生产线121通过进行缓冲，而将需要第三种颜色的处理的基板的对搬运装置101b的提供间隔和需要第四种颜色的处理的基板的对搬运装置101b的提供间隔各自控制为既定的时间以上。此外，着色图案形成生产线121在不需要缓冲的情况下，使由搬运装置107所搬运的基板直接朝向下游的装置通过。

图3为表示图2所示的缓冲装置122a的控制处理的流程图。此外，缓冲装置122a是已形成第二种颜色或第三种颜色的着色图案的基板的专用装置。

以下，为了便于说明，将已形成第一种颜色及第二种颜色的着色图案的基板称为“两种颜色形成基板”，并将已形成第一种颜色～第三种颜色的着色图案的基板称为“三种颜色形成基板”。

在步骤S101中，判定是否已由上游的装置搬来基板。在已由上游的装置搬来基板的情况下(在步骤S101为Yes)，缓冲装置122a的控制转移到步骤8102，在除此之外的情况下(在步骤S101为No)，转移到步骤S112。

在步骤S102中，判定所搬来的基板是否是三种颜色形成基板。在所搬来的基板是三种颜色形成基板的情况下(在步骤S102为Yes)，控制转移到步骤S103，在除此之外的情况下(在步骤S102中为No)，转移到步骤S109。

在步骤S103中，判别上次搬运到下游的装置的基板(使通过缓冲装置122a的基板或从缓冲装置122a所排出的基板)是否是两种颜色形成基板。在上次搬运到下游的装置的基板是两种颜色形成基板的情况下(在步骤S103为Yes)，控制转移到步骤S104，在除此之外的情况下(在步骤S103为Yes)，转移到步骤S106。

进行步骤S104的处理的为上次搬运到下游的装置的基板是两种颜色形成基板，从上游的装置搬来三种颜色形成基板的情况。在步骤S104中，缓冲装置122a使所搬来的基板直接通过，控制转移到步骤S105。

在步骤S105中，在继续监视从上游的装置搬来的基板的情况下(在步骤S105为No)，返回到步骤S101，在除此之外的情况下(在步骤S105为Yes)，结束控制处理。

进行步骤S106的控制的为最近搬运到下游的装置的基板是三种颜色形成基板，从上游的装置搬来三种颜色形成基板的情况。在步骤S106中，判定在缓冲装置122a是否存储两种颜色形成基板。在缓冲装置122a存储两种颜色形成基板的情况(在步骤S106为Yes)，控制转移到步骤S107，在除此之外的情况下(在步骤S106为No)，转移到步骤S108。

在步骤S107中，缓冲装置122a将所存储的两种颜色形成基板比从上游所搬来的三种颜色形成基板更早向下游的装置排出。结果，所排出的两种颜色形成基板插入在既已搬运的三种颜色形成基板和从上游所搬来的三种颜色形成基板之间，将两种颜色形成基板及三种颜色形成基板交替地提供给下游的装置。然后，控制转移到步骤S105。

在步骤S108中，缓冲装置122a使所搬来的基板直接通过，并转移到步骤S105。

进行步骤S109的控制的为从上游的装置搬来两种颜色形成基板的情况。在步骤S109中，判定是否上次排出两种颜色形成基板后已经过所规定的固定时间。在已经过固定时间的情况下(在步骤S109为Yes)，控制转移到步骤S110，在除此之外的情况下(在步骤S109为No)，转移到步骤S111。

在步骤S110中，缓冲装置122a使所搬来的基板直接通过，并转移到步骤S105。

在步骤S111中，缓冲装置122a存储从上游所搬来的两种颜色形成基板，并转移到步骤S105。

步骤S112的控制是在未从上游的装置搬运基板的期间进行的。在步骤S112中，判定在缓冲装置122a是否存储有两种颜色形成基板。在缓冲装置122a存储有两种颜色形成基板的情况下(在步骤S112为Yes)，控制转移到步骤S113，在除此以外的情况下(在步骤S112为No)，返回到步骤S101。

在步骤S113中，判定是否上次排出两种颜色形成基板后已经过所规定的固定时间。在已经过规定时间的情况下(在步骤S113为Yes)，控制转移到步骤S114，在除此以外的情况下(在步骤S113为No)，返回到步骤S101。

在步骤S114中，缓冲装置122a向下游的装置排出所存储的两种颜色形成基板。然后，控制转移到步骤S105。

此外，图2所示的缓冲装置122b(三种颜色形成基板用的缓冲装置)的控制流程相当于图3的控制流程中的两种颜色形成基板和三种颜色形成基板互换者。在此，省略说明。

着色图案形成生产线121根据上述控制，向搬运装置101b交替地提供两种颜色形成基板和三种颜色形成基板，而且，将同一种类的基板的投入间隔设为固定时间以上。结果，可不会破坏生产线内的各种基板的流动平衡，且不会破坏加工中状态不同的处理中基板的个数的平衡，使基板进行循环。并且，在处理装置中，当同一颜色的着色图案形成制造工序继续时，存在有处理周期变慢的装置。例如，由于涂敷装置111a及111b每次对一个基板涂敷光阻剂都需要准备动作，因此在以一台涂敷装置连续涂敷同一颜色光阻剂的情况下，周期仅增加准备作业所需的时间。所以，如本实施方式一样，通过将两种颜色形成基板和三种颜色形成基板交替地提供给涂敷装置111b，可避免同一颜色的处理连续，从而可防止处理的延迟。

并且，对第一种颜色及第二种颜色的处理所共用的处理装置(清洗装置110a、涂敷装置111a、曝光装置112a、显像装置113a及烘烤装置114a)，搬入装置LD按照固定的周期提供未处理的基板，搬运装置108b使已形成第一种颜色的着色图案的基板插入在连续的未处理基板之间。通过进行这种搬运控制，和使用缓冲装置122a与122b的排列处理的情况一样，由于对各个处理装置按照固定间隔交替地提供需要第一种颜色的处理的基板和需要第二种颜色的处理的基板，因此可防止同一种颜色的处理连续进行所引起的处理周期的增加。

如所述说明所示，在本实施方式的彩色滤光片生产线，以并列动作的两个系统的处理装置构成着色图案形成生产线121，使基板在生产线内循环，由此形成4种颜色的着色图案。根据这种生产线的结构及搬运控制，与针对各种颜色设置处理生产线的情况相比，可大大减少彩色滤光片生产线配置所需的空间。虽然在涂敷装置或曝光装置等一部分装置中，必须对应地切换使用材料或所使用的光罩等以在形成两种颜色的着色图案时兼用，但是由于可减少所需的装置数目本身，因此可降低构成彩色滤光片生产线所需的费用。

此外，虽然在本实施方式中，说明在各个制造工序中，在一个处理装置(附加朝右下的斜线的装置)进行第一种颜色及第二种颜色的着色图案形成，而在另一处理装置(附加朝右上的斜线的装置)进行第三种颜色及第四种颜色的着色图案形成的例子，但是对各个处理装置的颜色的指定，并不限定于此例。例如，也可在附加朝右下的斜线的处理装置进行第一种颜色及第三种颜色的着色图案形成，而在附加朝右上的斜线的处理装置形成第二种颜色及第四种颜色的着色图案等，对各个制造工序中的一个处理装置指定任意两种颜色，并对另一个处理装置指定剩下的两种颜色。在此情况下，也不管对处理装置的各种颜色的指定，为了按照第一种颜色～第四种颜色的顺序形成着色图案，各个搬运装置分配基板的搬运目的地，从而，可具有与在上述实施方式中所说明的彩色滤光片生产线同样的效果。

(第二实施方式)

图4表示本发明的第二实施方式的彩色滤光片生产线的一部分的示意图。

本实施方式的彩色滤光片生产线和第一实施方式的不同之处在于：将作为进行曝光制造工序的处理的处理装置的3台曝光装置112a～112c设置于着色图案形成生产线121。

在此情况下，通过对3台曝光装置112a～112c的各台指示不同颜色的处理，来并行地对3种颜色的光阻剂进行曝光，谋求提高彩色滤光片的制造效率。例如，能以曝光装置112a对已涂敷第一种颜色(黑色矩阵)的光阻剂的基板进行曝光，以曝光装置112b对已涂敷第二种颜色及第三种颜色(红色及绿色)的光阻剂的基板进行曝光，以曝光装置112c对已涂敷第四种颜色(蓝色)的光阻剂的基板进行曝光。或者，也可将曝光装置112a～112c种的任意一台作为预备的装置。将从检查装置115a及115b所排出的基板向哪一台曝光装置搬运是搬运装置104相应于搬运的基板上的着色图案而决定的。

虽然在图4的例子中，表示仅设置3台曝光装置的着色图案形成生产线121的结构例，但是也可将清洗、涂敷、显像及烘烤中的一部分或全部制造工序的处理装置的台数设置为3台。不过，由于每次处理装置的台数增加，造成彩色滤光片生产线的占有面积和成本增加，因此最好使周期较长的制造工序的处理装置增多，而使周期相对较短的制造工序的处理装置减少。

在本实施方式中，由于着色图案形成生产线121使基板循环直到全部4种颜色的着色图案形成为止，因此与对各种颜色设置处理装置的以往的生产线相比，可减少所需的处理装置的台数。故而，本实施方式的彩色滤光片生产线也与第一实施方式一样，与对各种颜色设置处理生产线的情况相比，可大大减少彩色滤光片生产线的配置所需的空间，同时可降低构成彩色滤光片生产线所需的费用。

此外，在上述各个实施方式中，将着色图案限定为按照黑、红、绿、蓝的顺序形成的例子来进行说明，但这些颜色的形成顺序可为任意顺序。

并且，虽然在上述各个实施方式中，将缓冲装置122a及122b设置于搬运装置108a，但是也可将缓冲装置设置于其它任意搬运装置。

此外，虽然在上述各个实施方式中，说明在光刻法的每一个制造工序具备有两台或3台处理装置的彩色滤光片生产线，但是也可进一步设置预备的处理装置。在取代原来的处理装置，而使预备的处理装置运行的情况下，只要适当地切换各个搬运装置的搬运路径即可。

此外，虽然在上述各个实施方式中，对制造在基板上具有黑、红、绿及蓝这4种颜色的着色图案的彩色滤光片的例子进行说明，但是该各个实施方式的彩色滤光片生产线也可应用于在基板上具有5种颜色以上的着色图案的彩色滤光片的制造。在此情况下，也制作可在着色图案形成生产线内的至少一台处理装置形成两种颜色以上的着色图案，到在基板上形成于所需要的色数的着色图案为止，使基板在着色图案形成生产线内循环，向搬出装置排出已形成所需的着色图案的基板即可。

并且，在基板上形成黑色矩阵(黑)、红、绿、蓝及黄这5种颜色的着色图案的情况下，也可在其它装置仅形成黑色矩阵，而在上述各个实施方式的彩色滤光片生产线形成红、绿、蓝及黄这4种颜色的着色图案。

(第三实施方式)

图5表示本发明的第三实施方式的彩色滤光片生产线的一部分的示意图。在图5中，仅表示彩色滤光片制造工序中用于利用光刻法形成4种颜色的着色图案的处理生产线。并且，图5的箭头表示各个装置之间的连接关系和基板的搬运方向。

本实施方式的彩色滤光片生产线201是利用光刻法在基板上形成多种颜色的着色图案，为了可并行地进行两种颜色以上的着色图案形成，在各个制造工序中并列地设置两台或3台处理装置。

更详细地说，彩色滤光片生产线201具备存储装置202、搬入装置203a及203b、清洗装置204a及204b、涂敷装置205a及205b、曝光装置206a～206c、显像装置207a～207c、烘烤装置208a～208c、搬出装置209a～209c、连接各个装置的搬运装置211～216及缓冲装置221～224。并且，在涂敷装置205a及205c的后段和显像装置207a～207c的后段，设置线上检查装置217及218。并且，在搬运装置206连接检查装置218及修补装置220。

存储装置202是存储收纳了玻璃基板的多个料匣及多个空料匣的装置，例如相当于自动仓库。存储装置202具备有用于移送料匣的移送装置，将收纳了玻璃基板的料匣提供到搬入装置203a及203b，并从搬入装置203a及203b回收空料匣。并且，存储装置202将空料匣提供到搬出装置209a～209c，从搬出装置209a～209c回收收纳了玻璃基板的料匣。

搬入装置203a及203b从由存储装置202所提供的料匣取出未处理的基板，将所取出的基板提供到搬运装置211。

清洗装置204a及204b、涂敷装置205a及205b、曝光装置206a～206c、显像装置207a～207c、烘烤装置208a～208c以及搬出装置209a～209c是进行光刻法的清洗、涂敷、曝光、显像及后烘烤的各个制造工序的处理的装置(不对各个装置进行区别，统称为“处理装置”)。各个处理装置是可适当地切换并进行两种颜色以上的着色图案形成处理的装置。例如，各个涂敷装置205a及205b是至少具备有两台对基板表面涂敷光阻剂的涂敷机构，可相应于形成在基板上的着色图案的颜色，切换所使用的涂敷机构，并分开涂敷颜色不同的光阻剂。并且，曝光装置206a～206c具备有切换机构，其相应于形成的着色图案的颜色，来切换光罩本身或光罩的配置。

对各个处理装置，可指定任意颜色的着色图案形成处理。作为一个例子，也可在清洗装置204a及涂敷装置205a，进行黑(黑色矩阵)及红的着色图案形成处理，而在清洗装置204b及涂敷装置205b，进行绿及蓝的着色图案形成处理。并且，在一个制造工序设置3台处理装置(例如，曝光装置206a～206c)的情况下，也可将1台作为预备，也可使曝光装置206a进行黑的着色图案形成处理，以曝光装置206b进行红及绿的着色图案形成处理，以曝光装置206c进行蓝的着色图案形成处理等，而将4种颜色的处理适当地分配给3台处理装置。

搬运装置211～216连接各个处理装置之间，并利用各个处理装置向接下来的处理装置或检查装置、搬出装置209a～209c搬运已由各个处理装置施加处理的基板。基板的搬运目的地是通过各个搬运装置根据基板上的着色图案判别接下来应进行的处理而决定的。搬运装置216将由烘烤装置208a～208c所排出的基板中已形成全部4种颜色的着色图案的基板及不良品搬运到搬出装置209a～209c，并向搬运装置201搬运其它基板。通过进行这种搬运控制，到在基板上已形成全部4种颜色的着色图案为止，一边使基板在生产线内循环，一边按顺序进行各种颜色的着色图案形成。

搬出装置209a～209c将由搬运装置216所排出的基板收纳于料匣，将收纳了基板的料匣搬出到存储装置202。

缓冲装置221、222、223及224分别与搬运装置212、213、215及216连接，是暂时存储在搬运路径上所搬来的基板的装置。缓冲装置221～224是为了吸收各个处理装置的处理周期的偏差、或在生产线内流动的基板的滞留，提高整个生产线的运行效率而设置的。

图6表示本发明的第三实施方式的生产线控制系统的结构的方块图。

生产线控制系统230由控制装置231、及经由网路连接成可和控制装置231双向通信的多台生产线内装置232a～232n所构成。生产线内装置232a～232n是不区别相当于构成图5所示的彩色滤光片生产线201的各个装置(处理装置、搬运装置、搬入装置、搬出装置、缓冲装置、检查装置及修补装置)的装置，当作生产线控制系统230所包含的客户终端机(client terminal)。此外，在图6中，为了便于图示，仅表示构成图5的彩色滤光片生产线201的装置的一部分，并省略剩下的装置的记载。

图7表示图6所示的生产线控制系统的细节的功能方块图。在图7中，为了简化说明，仅表示1台生产线内装置232a。

生产线内装置232a包含监视信息取得部233、动作控制部234、相当于生产线内装置232a内的机构部分的动作部235及网路界面(以下称为“网路I/F”)236。

监视信息取得部233取得表示生产线内装置232a的运行状况的监视信息Imon，经由网路I/F236向控制装置231发送所取得的监视信息Imon。监视信息Imon包含表示在生产线内装置232a内的基板的有无或滞留时间、生产线内装置232a本身的运行状态的1种以上的信息。监视信息Imon所含的信息的种类因生产线内装置232a的种类(处理装置、搬运装置、缓冲装置等)而异。此外，后面将详细说明监视信息Imon的细节。

动作控制部234根据来自控制装置231的指示而控制动作部235，从而控制生产线内装置232a本身的动作。更具体地说，动作控制部234接受由控制装置231所发行的基板停止排出指示Csus及解除停止指示Cres，向动作部235赋予相应于所收到的指示的控制指示Cxtrl，控制来自生产线内装置232a的基板的排出。

并且，在生产线内装置232a是缓冲装置的情况下，接受由控制装置231所发行的缓冲指示Cbuf，开始所指示的基板的存储动作(缓冲动作)。

此外，其它的生产线内装置232b～232n和生产线内装置232a的结构一样。

另一方面，控制装置231包含存储部237、设定部238、监视部239及网路I/F240。

存储部237由硬碟或非挥发性存储器等存储媒体实现，并存储对监视信息Imon所包含的信息的每一种类所定义的基板的停止排出条件及解除停止条件、特定成为监视对象的至少一台生产线内装置(以下将监视对象的生产线内装置称为“监视对象装置”)的信息、以及特定位于监视对象装置之上游侧的装置中应控制基板的排出的装置(以下称为“控制对象装置”)的信息。停止排出条件是表示要使来自位于监视对象装置的上游的控制对象装置的基板停止排出时，监视对象装置应满足的运行状况的信息，解除停止条件是表示要使停止排出基板中的控制对象装置再开始排出基板时监视对象装置应满足的运行状况的信息。

设定部238用于设定存储部237所存储的各个信息。设定部238将从键盘或鼠标等使用者界面所输入的设定信息Iset存储在存储部237中。

监视部239根据由生产线内装置232a～232n的监视信息取得部233所通知的监视信息Imon，监视监视对象装置的运行状况。更具体地说，监视部239取得存储部238所存储的设定信息Iset，特定监视对象装置及控制对象装置，同时取得对该监视对象装置所设定的停止排出条件及解除停止条件。监视部239比较被通知的监视信息Imon所包含的各个监视项目的信息、和存储部237所存储的设定信息Iset所定义的停止排出条件及解除停止条件。在监视信息Imon满足停止排出条件的情况下，监视部239经由网路I/F240及236而对控制对象装置的动作控制部234发送基板的停止排出指示Csus。另一方面，在监视信息Imon满足解除停止条件的情况下，监视部239经由网路I/F240及236而对控制对象装置的动作控制部234发送基板的解除停止指示Cres。

并且，监视部239也可和提出排出指示Csus的发行一起而对位于监视对象装置的上游侧的缓冲装置发行存储位于特定的加工状态下的基板的缓冲指示Cbus。该缓冲指示Cbuf是例如在制造工序的一台处理装置发生故障的情况下，为了防止在该故障的处理装置应处理的加工中基板滞留在生产线上而发出的。监视部239也可根据缓冲指示Cbuf，特定应存储在缓冲装置的基板。缓冲的停止在监视对象装置复原的情况下等，作出适当的指示即可。

并且，在已赋予缓冲指示Cbuf的缓冲装置内的空段数少(例如，空段数比既定的临限值小的情况)，而监视部239判断仅该缓冲装置无法完全存储滞留基板的情况，监视部239可对更上游侧的缓冲装置发行缓冲指示Cbuf。

以下，对本实施方式的控制装置231所参照的监视信息Imon的细节、控制装置231所监视的监视项目及各个监视项目的停止排出条件及解除停止条件进行说明。

<1、基板滞留时间>

基板滞留时间是指同一基板存在于监视对象装置内的特定位置的时间。为了监视基板滞留时间，本实施方式的生产线控制系统230使用表示在监视对象装置内的基板位置的基板位置信息。基板位置信息表示在监视对象装置内所预先规定的既定的位置(被设置一处以上)是否有基板的信息。监视部239根据由监视信息取得部233所通知的基板位置信息，根据各个位置上有无基板，计算基板持续存在于各个位置上的时间(基板滞留时间)。

在将基板滞留时间作为监视项目的情况下，设定滞留时间的临限值作为停止排出条件，设定从停止排出开始经过的既定时间作为解除停止条件。

因此，监视部239在对某监视对象装置所算出的基板滞留时间超过所设定的临限值的情况下，对控制对象装置发行停止排出指示Csus，然后，在从停止排出指示Csus的发行开始经过了既定时间时发行解除停止指示Cres。

通过如此监视特定位置上的基板滞留时间，可掌握发生滞留的初期阶段。因此，可通过使该特定位置的上游侧的装置停止排出基板固定时间，而在初期消除滞留。

<2、缓冲装置的空段数>

缓冲装置的空段数在设定缓冲装置作为监视对象装置的情况下所使用的信息。设置于缓冲装置的监视信息取得部233每当存储及排出基板时便会更新空段数，并向监视部239通知表示空段数的空段数信息。

在将空段数作为监视数目的情况下，设定空段数的下限值作为停止排出条件，而设定空段数的上限值作为解除停止条件。

因此，监视部239在某监视对象缓冲装置的空段数成为所设定的下限值以下的情况下，对控制对象装置发行停止排出指示Csus，然后，在空段数超过所设定的上限值的情况下，发行解除停止指示Cres。

如果根据缓冲装置的空段数，即滞留的吸收余额来控制控制对象装置的基板的排出，可强迫地消除基板的滞留。如果与根据该项目1的基板滞留时间的控制一起进行该控制的话，则由于也可消除无法通过停止排出基板固定时间来消除的程度的滞留，因此较有效。

<3、监视区内基板个数>

如上所述，在各个装置内，预先规定可检测有无基板的多个位置。各个位置可设定于向处理装置或缓冲装置搬出、搬入基板的部分、或在处理装置内进行处理的部分、缓冲装置内部以及搬运装置的搬运路径上的任意部位等。监视区是指根据从这些所预先规定的位置任意选择的多个位置的组合而规定的范围。

例如，在图5中，可通过选择在搬运装置212、缓冲装置221、涂敷装置205a及205b、检查装置217、搬运装置213及缓冲装置222内所规定的所有的位置，将由两点连线所包围的Z₁部分设定为监视区。此外，在此虽然说明以在连续地配置的装置内所规定的所有位置的组合定义监视区的例子，但是对位置的选择方法无特别限定，可任意选择。例如，也可仅选择在各个装置内所规定的位置的一部分，或同时选择未直接连接的装置的位置，来定义监视区。

在本实施方式中，通过监视存在于所设定的监视区内的基板个数，可实现弹性基板的流动控制。监视区可根据经由设定部238所输入的设定信息来定义，并存储于存储部237。

监视区内基板个数是监视部239根据由包含于监视区的各个监视对象装置所通知的基板位置信息而算出的。

在将监视区内基板个数作为监视项目的情况下，设定基板个数的上限值作为停止排出条件，而设定基板个数的下限值作为解除停止条件。

因此，监视部239在对某监视区所算出的监视区内基板个数成为所设定的上限值以上的情况下，对控制对象装置发行停止排出指示Csus，然后，在所算出的监视区内基板个数未满所设定的下限值的情况下，发行解除停止指示Cres。

如果根据在监视区内流动的基板个数，控制控制对象装置的基板的排出的话，则可强迫地消除基板的滞留。如果与根据该项目1的基板滞留时间的控制一起进行该控制的话，则由于也可消除无法通过停止排出基板固定时间来消除的程度的滞留，因此较有效。

<4、缓冲装置内基板滞留时间>

缓冲装置内基板滞留时间在设定缓冲装置作为监视对象装置的情况所使用的信息，表示从基板被存储于缓冲装置开始的经过时间。设置于缓冲装置的监视信息取得部233对所存储的各个基板测量滞留时间，并将所测量的时间作为缓冲装置内基板滞留时间信息而通知监视部239。

在将缓冲装置内基板滞留时间作为监视项目的情况下，设定滞留时间的上限值作为停止排出条件，监视部239在监视对象缓冲装置内的基板滞留时间成为所设定的上限值以上的情况下，对控制对象装置发行停止排出指示Csus。但是，作为解除停止条件，使用包含有缓冲装置的既定的区内的基板个数。以下，对此点进行详细说明。

图8表示图5所示的生产线的一部分的示意图。在图8中，以三角形记号表示在搬运装置212的搬运路径上所规定的位置。并且，在图8的例子中，设想监视对象装置是缓冲装置221，控制对象装置是清洗装置204a的情况。

参照图8(a)，缓冲装置221是以线上的方式(In-Line)设置于搬运装置212的搬运路径上，并以FILO(First In Last Out)的方式存储搬运装置212的搬运路径上的基板、搬运路径排出基板。因此，缓冲装置221在空的状态下最初所存储的基板226到其它的存储基板被排出为止，滞留在缓冲装置221内。

监视部239在基板226的缓冲装置内滞留时间超过所设定的上限值的情况下，对清洗装置204a发行停止排出指示Csus。作为在发行停止排出指示Csus后使再开始从清洗装置204a排出基板的控制方法，例如，可考虑在缓冲装置221内所存储的基板全部被排出的时刻，对清洗装置204a发行解除停止指示。

但是，如图8(b)所示，当缓冲装置221变空后再开始排出基板时，由于在刚收到解除停止指示Cres后到从清洗装置204a所排出的基板227到达后段的涂敷装置205a为止发生时间延迟(time lag)，因此导致生产线的运行效率降低。

故而，在本实施方式中，考虑从控制对象的清洗装置204a所排出的基板到后段的缓冲装置221的时间，控制解除停止指示Cres的发行时序(timing)。具体而言，在图8(c)中，将根据缓冲装置221和其上游侧的n个位置P₁～P_n的组合所规定的范围(由两点连线所包围的范围)定义为一个区Z₂，当存在于该区Z₂内的基板个数成为既定的临限值以下时，控制部239对清洗装置204a发行解除停止指示Cres。此外，此区Z₂和监视区同样地，可根据经由设定部238所输入的设定信息来定义，存储在存储部237中。

例如，在设定解除停止排出用的临限值Th(Th是比可配置在区Z₂内的基板的最大数M小的值)的情况下，在区Z₂内的基板个数成为Th以下的时刻控制部239发行解除停止指示Cres。响应解除停止指示Cres，清洗装置4a再开始排出基板，将基板排出到搬运装置212。

如果预先设定临限值Th的值，使得在图8(c)的时刻所排出的基板228被搬运而即将到达位置P₁之前，滞留时间最长的基板226从缓冲装置221被排出，如图8(d)所示，可不中断地搬运基板，也可提高生产线的运行效率。

如果象这样监视在缓冲装置内的基板滞留时间的话，则由于可防止加工中的基板被存储于缓冲装置内既定时间以上，因此可抑制各个基板所需的处理时间的变动，并提高质量。

<5、装置运转状态>

装置运转状态表示监视对象装置是否是正常运转中的信息。监视信息取得部233定期向监视部239通知例如以二值表现动作部235是正常运转中的情况和除此之外的情况的正常运转信息。

在将装置运转状态作为监视项目的情况下，设定正常运转信息从表示正常状态的值往表示非正常状态的值的变化作为停止排出条件，而设定正常运转信息从表示非正常状态的值往表示正常状态的值的变化作为解除停止条件。

因此，监视部239在某监视对象装置往不正常状态变化的情况下，对控制对象装置发行停止排出指示Csus，然后，在监视对象装置恢复正常状态的情况下，对控制对象装置发行解除停止指示Cres。

由于通过象这样监视装置的运转状态，可停止排出在成为异常的装置应处理的基板，因此可防止无法被处理的基板在生产线内循环。

此外，上述的由监视部239所发行的缓冲指示Cbuf也可和在该项目1～5所记载的任一种监视控制组合。通过和基板的停止排出指示Csus一起发行缓冲指示Cbuf，可确保未发生滞留或装置的异常的搬运路径，而继续进行由一部分的装置所执行的处理。

图9表示由图6所示的监视部所进行的控制处理的流程图。

在步骤S201～S205中，监视部239根据从监视对象装置所通知的监视信息，判定是否满足在各个监视项目所定义的基板停止排出条件。此外，这些步骤S201～S205的处理可按照任意的顺序进行。监视部239对满足基板停止排出条件的监视项目，将1设定于旗标(flg1～flg5)，对除此之外的监视项目将0设定于旗标，并转移到步骤S206。

在步骤S206中，监视部239求得在步骤S201～S205所设定的旗标flg1～flg5的逻辑或，并转移到步骤S207。

在步骤S207中，监视部239判定所求得的逻辑和是否是1。在所求得的逻辑和是1的情况下(在步骤S207中为Yes)，转移到步骤S208，而在除此之外的情况下(在步骤S207中为No)，返回到步骤S201～S205。

在步骤S208中，监视部239对就监视对象装置所设定的控制对象装置的动作控制部234发行基板停止排出指示，并转移到步骤S209～S213。

在步骤S209～S213中，监视部239根据从监视对象装置所通知的监视信息，判定是否满足在各个监视项目所定义的解除停止条件。此外，这些步骤S209～S213的处理可按照任意顺序进行。监视部239对满足解除停止条件的监视项目，将1设定于旗标(flg6～flg10)，对除此以外的监视项目将0设定于旗标，转移到步骤S214。

在步骤S214中，监视部239求得在步骤S209～S213所设定的旗标flg6～flg10的逻辑与，转移到步骤S215。

在步骤S215中，监视部239判定所求得的逻辑积是否是1。在所求得的逻辑积是1的情况下(在步骤S215中为Yes)，转移到步骤S216，而在除此之外的情况下(在步骤S215中为No)，返回到步骤S209～S213。

在步骤S216中，监视部239对就监视对象装置所设定的控制对象装置的动作控制部234发行解除停止指示，并转移到步骤S217。

在步骤S217中，监视部239在停止监视的情况下(在步骤S217中为Yes)，结束控制处理，而在除此之外的情况下(在步骤S217中为No)，返回到步骤S201～S205。

通过象这样进行控制，在对多个监视项目的任意一个满足搬出停止条件时，停止从位于监视对象装置的上游侧的控制对象装置排出基板，而在对所有的监视项目满足解除停止条件时，再开始从控制对象装置排出基板。

在此，对上述控制处理的具体例子进行说明。

在图5中，为了进行第一种颜色的着色图案形成处理，设想按照“搬入装置201a及201b-清洗装置204a-搬运装置202-涂敷装置205a”的顺序搬运未处理基板的情况。例如，在涂敷装置205a(监视对象装置)发生滞留或装置异常的情况下，控制装置231(图6)使涂敷装置205a的上游侧的搬入装置201a及201b和清洗装置205a(控制对象装置)停止排出基板，同时对缓冲装置221指示将在涂敷装置205a应处理的基板(从清洗装置205a排出并已经被搬运装置212搬运的基板)存储于缓冲装置221。如果进行这种控制，由于对正常运行中的涂敷装置205b确保搬运路径，因此可继续进行其它颜色的着色图案形成处理。并且，可防止无法处理的基板(在涂敷装置205a应处理的加工中的基板)在生产线内继续流动。

然后，当在涂敷装置205a的滞留或装置异常等消除，满足全部的监视项目的解除停止条件时，控制装置231(图6)对涂敷装置205a的上游侧的搬入装置201a及201b和清洗装置205a(控制对象装置)指示解除停止，即再开始排出基板。

虽然在该具体例子中，对在特定的处理装置发生滞留或装置异常的例子进行说明，但是在监视对象装置是其它装置的情况下，或在其它监视项目满足停止排出条件的情况下，也可同样地控制对象装置的基板的排出。

如上所述，在本实施方式的生产线控制系统所执行的控制方法中，控制部239取得各个生产线内装置的运行状况，监视所取得的各个生产线内装置的运行状况，判定是否对监视对象装置限制基板的提供，再根据判定结果，进行至少一台控制对象装置的基板的停止排出及解除停止。通过象这样控制监视对象装置的上游侧的一部分装置的基板的排出，即使在加工中状态不同的基板一边共用生产线内装置，一边流动的方式的生产线中，也可抑制基板的滞留，并提高生产力(throughput)。并且，由于通过抑制基板的滞留，可防止某种颜色的着色图案从开始形成到结束为止的处理时间的增加，因此可提高彩色滤光片的质量。

并且，如本实施方式所示，如果与控制对象装置的停止基板排出指示一起，对监视对象上游侧的缓冲装置指示存储应由监视对象装置处理的基板的话，则可继续监视对象装置以外的正常运行中的装置的处理。

此外，虽然在本实施方式中，利用生产线内装置所具备的电脑，实现监视信息取得部及动作控制部的例子，但是也可使用可控制生产线内控制装置的其它电脑终端机而构成监视信息取得部及动作控制部。

(工业上的利用可能性)

本发明例如可利用于用以制造在液晶显示装置中所使用的彩色滤光片的生产线。