基于毛细管化学腐蚀法的氧气体积百分比浓度传感器

摘要

一种基于毛细管化学腐蚀法的氧气体积百分比浓度传感器，它包括壳体（1），在所述的壳体（1）上设置有气体扩散毛细管（7），其特征是所述的气体扩散毛细管（7）是通过用化学腐蚀法将预埋在壳体中的直径为0.02-0.3mm、长度为0.2-6mm金属丝溶解后形成的。本发明的制造氧浓度传感器扩散毛细管的方法制作简单、可靠、易行，不需要用激光雕刻机等大型、昂贵的设备，成本低廉。所制造的传感器精度高，一致性好。