镓掺杂氧化锌靶材及其透明导电膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种镓掺杂氧化锌靶材及其透明导电膜的制备方法。该靶材由锌、镓氧化物粉体经烧结而成；其中氧化镓的质量含量为0.5-10％；靶材的纯度不低于99.9％；靶材的相对密度不低于95％，最高可达99.5％。采用该靶材经溅射法制备的透明导电膜具有优良的光电性能，电阻率可低至1.05×10-4Ωcm，在可见光范围(400～800nm)最高透过率可达92％，而平均透过率不低于84％，可广泛应用于太阳能电池、发光二极管、平板和液晶显示等领域。