公开/公告号CN102165557A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-08-24
原文格式PDF
申请/专利权人 弗兰霍菲尔运输应用研究公司;
申请/专利号CN200980138514.0
申请日2009-10-08
分类号H01L21/00;G01N3/20;G01N3/02;
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司;
代理人臧建明
地址 德国慕尼黑
入库时间 2023-12-18 03:04:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-06-13
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/00 公开日:20110824 申请日:20091008
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-08-24
公开
公开
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