法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-01-16
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/35 申请公布日:20110601 申请日:20110225
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-07-20
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20110225
实质审查的生效
2011-06-01
公开
公开
机译: 用于沉积透明导电薄膜的烧结致密靶材,制备方法和由此获得的透明导电薄膜
机译: 用于沉积透明导电薄膜的烧结致密靶材,制备方法和由此获得的透明导电薄膜
机译: 基于氧化锌的溅射靶材,制备方法以及薄膜晶体管,其中包括由基于氧化锌的溅射靶材沉积的阻挡层