磁性多层膜纳米碗单层阵列的制备方法

摘要

本发明涉及一种磁性多层膜纳米碗单层阵列的制备方法，该方法的具体步骤是首先采用自组装技术在硅或玻璃或ITO衬底上制备二维胶体球阵列，然后在胶体球阵列上通过溅射技术沉积Co/Pt多层膜，再将长有多层膜的胶体球阵列转移到另一块衬底上，最后利用选择刻蚀技术除掉胶体球，在新衬底上形成纳米碗阵列。该阵列被广泛的应用于微生物学、药物学、高密度磁存储及微流体学等领域。