公开/公告号CN102017166A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-04-13
原文格式PDF
申请/专利权人 高通MEMS科技公司;
申请/专利号CN200980116662.2
申请日2009-04-08
分类号H01L31/0224;H01L31/052;
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人宋献涛
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-18 02:05:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-05-07
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L31/0224 申请公布日:20110413 申请日:20090408
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-06-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/0224 申请日:20090408
实质审查的生效
2011-04-13
公开
公开
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