法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-09-18
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C22C38/12 申请公布日:20110406 申请日:20101020
发明专利申请公布后的驳回
2011-05-25
实质审查的生效 IPC(主分类):C22C38/12 申请日:20101020
实质审查的生效
2011-04-06
公开
公开
机译: 微器件的晶片级钝化结构,包括该结构的微器件以及制造晶片级钝化结构和微器件的方法
机译: 微设备的晶圆级钝化结构,包括该晶圆的微设备以及制造晶圆级钝化结构和微设备的方法
机译: 微流体芯片,一种制造相同流体的方法,一种微流体芯片的微通道,以及一种能够减小微通道形状中的微通道壁中颗粒壁损耗的微通道的方法