使用多相位结构光的三维成像改进方法

摘要

提供出了一种对测试表面(22)上特征(36)的高度进行映射的方法(300)。所述方法包括：将已构图照明光投射到所述特征(36)上(310A)，所述已构图照明光具有多个不同的边缘周期。在将已构图照明光投射到所述特征(36)上的同时获取所述特征的第一图像(310)。然后在传感器和所述特征(36)之间产生相对移动，以引起检测器(46)视场的一部分的相对位移，所述一部分约等于产生图案的标线的不同部分的个数的倒数。然后在将已构图照明光投射到所述特征(36)的同时获取所述特征的第二图像(314)。至少基于所述第一和第二图像来产生高度映射。