用于人工视网膜的光电式微电极阵列及其制作方法

摘要

本发明公开了一种用于人工视网膜的光电式微电极阵列，其包括透明衬底(1)、由下至上依次生长于所述透明衬底(1)上的第一重掺杂非晶硅层(2)、非掺杂非晶硅层(3)、第二重掺杂非晶硅层(2)和金属电极(4)，以及覆盖于所述透明衬底(1)、第一重掺杂非晶硅层(2)、非掺杂非晶硅层(3)以及第二重掺杂非晶硅层(2)表面的绝缘介质材料(5)。本发明结构和工艺相对简单，同时功能完备，可提供足够驱动电流的微阵列，具有重要的实用价值和产业化前景。