法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-01-30
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H02H7/28 申请公布日:20100929 申请日:20100506
发明专利申请公布后的视为撤回
2010-11-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H02H7/28 申请日:20100506
实质审查的生效
2010-09-29
公开
公开
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机译: 半导体故障分析装置,半导体故障分析方法,半导体故障分析程序和半导体故障分析系统