基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器

摘要

一种基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器，是利用其透射光谱对温度的敏感性来实现对温度的传感，包括：一激光器；一Y型波导，该Y型波导的一端为入射波导，入射波导的一端有一第一正锥，该Y型波导的第一正锥通过光纤与激光器连接；该Y型波导的另两端分为参考臂波导和传感臂波导；该Y型波导的参考臂波导的一端有一第二正锥；该Y型波导的传感臂波导的一端有一第三正锥；一第一功率计，该第一功率计通过光纤与参考臂波导的第二正锥连接；一马赫-曾德尔波导结构，该马赫-曾德尔波导结构接入传感臂波导的中间；一第二功率计，该第二功率计通过光纤与传感臂波导的第三正锥连接。