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一种在金属基带上连续制备YBCO超导层的方法

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摘要

一种在金属基带上连续制备YBCO超导层的方法，包括：(1)在连续制备YBCO超导层的设备的真空腔体中，将带有隔离层的金属基带固定在不锈钢引带上；(2)以YBCO为靶材，靶基距为35～60mm；(3)在抽真空前调整激光光路，使激光聚焦于靶位，并位于金属基带正下方；(4)抽真空至真空腔体内的真空度优于3×10

著录项

  • 公开/公告号CN101736296A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-06-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京有色金属研究总院;

    申请/专利号CN200810225973.X

  • 发明设计人 张华;杨坚;刘慧舟;冯校亮;周其;古宏伟;

    申请日2008-11-07

  • 分类号C23C14/34;C23C14/58;C23C14/54;C23C14/06;B32B9/04;B32B15/04;

  • 代理机构北京北新智诚知识产权代理有限公司;

  • 代理人程凤儒

  • 地址 100088 北京市新街口外大街2号

  • 入库时间 2023-12-18 00:27:04

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-02-08

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/34 公开日:20100616 申请日:20081107

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2010-09-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/34 申请日:20081107

    实质审查的生效

  • 2010-06-16

    公开

    公开

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