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多孔质二氧化硅前体组合物及其制备方法、多孔质二氧化硅膜及其形成方法、半导体元件、图像显示装置及液晶显示装置

摘要

一种多孔质二氧化硅前体组合物,由下述成分混合进行制备:化学式1:R

著录项

  • 公开/公告号CN101765561A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-06-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社爱发科;

    申请/专利号CN200880100611.6

  • 发明设计人 中山高博;野末龙弘;村上裕彦;

    申请日2008-08-05

  • 分类号C01B33/12;C09D1/00;G02F1/1337;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;

  • 代理机构北京英特普罗知识产权代理有限公司;

  • 代理人齐永红

  • 地址 日本神奈川县

  • 入库时间 2023-12-18 00:18:34

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-12-23

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C01B33/12 申请公布日:20100630 申请日:20080805

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2010-08-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):C01B33/12 申请日:20080805

    实质审查的生效

  • 2010-06-30

    公开

    公开

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