公开/公告号CN101788638A
专利类型发明专利
公开/公告日2010-07-28
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN201010104207.5
申请日2006-08-30
分类号G01R31/24(20060101);H01L21/00(20060101);H01J25/50(20060101);H05B6/68(20060101);
代理机构11322 北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人龙淳
地址 日本东京都
入库时间 2023-12-18 00:05:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-02-25
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01R31/24 申请公布日:20100728 申请日:20060830
发明专利申请公布后的驳回
2010-09-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/24 申请日:20060830
实质审查的生效
2010-07-28
公开
公开
机译: 磁控管控制方法,磁控管使用寿命判定方法,微波发生装置,磁控管使用寿命判定装置,处理装置,计算机程序和存储介质
机译: 磁控管控制方法,磁控管寿命判定方法,微波发生装置,磁控管寿命判定装置,处理装置以及计算机可读存储介质
机译: 磁控管控制方法,磁控管寿命判定方法,微波发生装置,磁控管寿命判定装置,处理装置,计算机程序以及存储介质