钨钛共掺杂类金刚石涂层材料及其制备技术

摘要

钨钛共掺杂类金刚石(DLC)涂层材料及其制备技术，特征是首先利用超声波清洗去除工件表面污染层，利用辉光放电对工件表面进行氩离子刻蚀清洗，获得原子级的清洁表面；然后利用反应磁控溅射沉积方法制备梯度过渡层，最后在过渡层上利用磁控溅射+辉光放电等离子体增强化学气相沉积方法制备钨钛共掺杂DLC涂层，合成的DLC涂层同时含有碳、钨和钛等元素，其中钨含量为2-5％，钛含量为0.1-2.0％，具有优异的膜/基结合力和低的摩擦系数及磨损率。